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III-V族半导体材料的电化学C-V表征及GaN基光导器件的持续光电导研究

致谢第1-5页
摘要第5-7页
ABSTRACT第7-11页
1 绪论第11-21页
   ·引言第11-13页
   ·III-V族直接带隙半导体材料概述第13-17页
     ·III-V族直接带隙半导体化合物的吸收系数第13-14页
     ·InP基InGaAs材料概述第14-15页
     ·GaN基材料概述第15-17页
   ·半导体材料载流子浓度的表征方法第17-20页
   ·研究内容及论文的安排第20-21页
2 III-V族半导体材料载流子浓度的电化学C-V表征第21-35页
   ·电化学C-V法表征载流子浓度的基本原理第21-23页
   ·InP基材料载流子浓度的电化学C-V表征第23-27页
     ·InP基材料载流子浓度的纵向分布分析第23-26页
     ·InP基材料载流子浓度的纵向分布修正第26-27页
   ·GaN 基材料载流子浓度纵的电化学C-V表征第27-30页
     ·GaN基材料载流子浓度的纵向分布分析第27-28页
     ·GaN基材料载流子浓度的纵向分布修正第28-30页
   ·电化学C-V法表征多层材料载流子浓度纵向分布的误差分析第30-33页
     ·电化学C-V法表征多层材料载流子浓度的误差分析第30-32页
     ·电化学C-V法表征多层材料每一层厚度的误差分析第32-33页
   ·本章小结第33-35页
3 GaN基光导器件及其超晶格材料的设计第35-47页
   ·半导体光导器件的一般理论第35-36页
   ·GaN基光导器件的持续光电导现象第36-40页
     ·GaN基光导器件的持续光电导现象简介第36-39页
     ·GaN基光导器件持续光电导现象的研究现状第39-40页
   ·GaN基超晶格材料结构的设计第40-43页
     ·超晶格的基本理论第41-42页
     ·GaN基超晶格结构设计第42-43页
   ·GaN基超晶格材料的透射光谱测试第43-45页
   ·本章小结第45-47页
4 GaN基超晶格光导器件的持续光电导现象研究第47-59页
   ·GaN 基超晶格光导器件的制备第47-50页
     ·GaN基超晶格光导器件的版图设计第47页
     ·GaN 基超晶格光导器件的制备工艺第47-49页
     ·GaN 基超晶格光导器件的基本测试第49-50页
   ·GaN基超晶格光导器件测试系统的搭建第50-52页
   ·GaN基超晶格光导器件的响应光谱测试第52-55页
     ·GaN基超晶格光导器件工作电压的选定第52-53页
     ·GaN基超晶格光导器件的响应光谱第53-55页
   ·GaN基超晶格光导器件的持续光电导现象的电场效应第55-56页
     ·相同时间不同偏压对光导器件持续光电导的影响第55-56页
     ·不同时间相同偏压对光导器件持续光电导的影响第56页
   ·GaN基超晶格光导器件的持续光电导现象的热效应第56-57页
   ·本章小结第57-59页
5 结论与展望第59-61页
   ·结论第59-60页
   ·展望第60-61页
参考文献第61-64页
作者简介及在学期间发表的学术论文与研究成果第64页

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