| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-11页 |
| 第1章 绪论 | 第11-19页 |
| ·课题研究背景及意义 | 第11-12页 |
| ·纳米压印光刻技术研究概况 | 第12-13页 |
| ·定位工作台研究概况 | 第13-16页 |
| ·本文研究的主要内容 | 第16-19页 |
| 第2章 精密定位工作台构型设计 | 第19-30页 |
| ·引言 | 第19页 |
| ·纳米压印光刻技术工作原理 | 第19-21页 |
| ·柔性铰链研究 | 第21-23页 |
| ·柔性铰链的应用领域 | 第21页 |
| ·柔性铰链的材料 | 第21-23页 |
| ·柔性铰链的加工方法 | 第23页 |
| ·柔性铰链的几何模型 | 第23-26页 |
| ·柔性铰链转动副 | 第23-24页 |
| ·柔性铰链移动副 | 第24-25页 |
| ·柔性球铰 | 第25-26页 |
| ·3-PPRR 机构设计与建模 | 第26-28页 |
| ·机构特性 | 第26-27页 |
| ·微动机构设计原则 | 第27页 |
| ·3-PPRR 柔性并联定位机构设计 | 第27-28页 |
| ·本章小结 | 第28-30页 |
| 第3章 精密定位工作台运动学分析与仿真 | 第30-43页 |
| ·引言 | 第30页 |
| ·“伪刚体模型”概念 | 第30页 |
| ·3-PPRR 并联机构运动学分析 | 第30-37页 |
| ·建立伪刚体模型及分析 | 第30-31页 |
| ·机构自由度计算 | 第31页 |
| ·运动学逆解求解 | 第31-34页 |
| ·运动学正解求解 | 第34页 |
| ·速度分析 | 第34-36页 |
| ·加速度分析 | 第36-37页 |
| ·精密定位工作台运动学仿真 | 第37-40页 |
| ·RecurDyn 软件简介 | 第37-38页 |
| ·基于 RecurDyn 进行刚柔混合系统仿真 | 第38-40页 |
| ·机构工作空间的求解 | 第40-41页 |
| ·本章小结 | 第41-43页 |
| 第4章 精密定位工作台静刚度分析 | 第43-55页 |
| ·引言 | 第43页 |
| ·典型柔性铰链的刚度分析 | 第43-47页 |
| ·柔性转动副的刚度分析 | 第44-46页 |
| ·柔性移动副刚度分析 | 第46-47页 |
| ·精密定位工作台静刚度理论分析模型 | 第47-48页 |
| ·有限元法基本思路 | 第48-50页 |
| ·基于 ANSYS Workbench 的静刚度有限元分析 | 第50-54页 |
| ·ANSYS 有限元软件介绍 | 第50-51页 |
| ·柔性铰链的有限元分析 | 第51-52页 |
| ·3-PPRR 定位机构静刚度分析 | 第52-54页 |
| ·本章小结 | 第54-55页 |
| 第5章 精密定位工作台精度分析 | 第55-64页 |
| ·引言 | 第55页 |
| ·柔性并联机构的误差源分析 | 第55-60页 |
| ·柔性铰链的误差源分析 | 第56-58页 |
| ·机构组合装配误差 | 第58-59页 |
| ·数学建模误差 | 第59-60页 |
| ·3-PPRR 精密定位工作台的误差分析 | 第60页 |
| ·柔性并联机构的误差补偿 | 第60-63页 |
| ·机构参数识别 | 第61页 |
| ·工作空间误差补偿法 | 第61-62页 |
| ·关节空间误差补偿法 | 第62-63页 |
| ·本章小结 | 第63-64页 |
| 结论与展望 | 第64-65页 |
| 致谢 | 第65-66页 |
| 参考文献 | 第66-69页 |
| 作者简介 | 第69页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文和科研成果 | 第69-70页 |