| 中文摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-8页 |
| 第一章 引言 | 第8-18页 |
| ·太阳能电池的发展 | 第8-9页 |
| ·薄膜太阳能电池的发展 | 第9页 |
| ·铜锌锡硫(CZTS)太阳能电池 | 第9-16页 |
| ·CZTS的性质和特点 | 第9-10页 |
| ·CZTS太阳能电池的结构 | 第10-11页 |
| ·CZTS薄膜的制备方法 | 第11-16页 |
| ·真空法沉积薄膜 | 第12-14页 |
| ·非真空沉积法制备薄膜 | 第14-15页 |
| ·CZTS纳米晶体 | 第15-16页 |
| ·选题依据与研究内容 | 第16-17页 |
| ·选题依据 | 第16页 |
| ·研究内容 | 第16-17页 |
| ·本章小结 | 第17-18页 |
| 第二章 CZTS薄膜的制备及其表征方法 | 第18-33页 |
| ·磁控溅射镀膜 | 第18-21页 |
| ·磁控溅射镀膜的基本原理 | 第18-19页 |
| ·磁控溅射设备 | 第19-20页 |
| ·薄膜的生长过程 | 第20-21页 |
| ·测试原理 | 第21-29页 |
| ·X射线衍射 | 第21-23页 |
| ·扫描电子显微镜(SEM) | 第23-24页 |
| ·能量色散X射线光谱(EDX) | 第24页 |
| ·半导体光学性能的测试 | 第24-26页 |
| ·半导体的霍尔测试原理 | 第26-29页 |
| ·CZTS薄膜的制备 | 第29-32页 |
| ·清洗基片 | 第29页 |
| ·溅射制备前驱体CZT | 第29-30页 |
| ·硫化制备CZTS薄膜 | 第30-32页 |
| ·本章小结 | 第32-33页 |
| 第三章 CZTS薄膜性能的研究 | 第33-56页 |
| ·CZTS薄膜的物相结构 | 第33-43页 |
| ·溅射功率对CZTS薄膜物相结构的影响 | 第34-38页 |
| ·溅射气压对CZTS薄膜物相结构的影响 | 第38-41页 |
| ·硫化氢浓度对CZTS薄膜结构物相的影响 | 第41-43页 |
| ·CZTS薄膜的表面形貌 | 第43-47页 |
| ·溅射功率对CZTS薄膜表面形貌的影响 | 第44-45页 |
| ·溅射气压对CZTS薄膜表面形貌的影响 | 第45-46页 |
| ·硫化氢浓度对CZTS薄膜表面形貌的影响 | 第46-47页 |
| ·CZTS薄膜的光学性能 | 第47-52页 |
| ·溅射功率对CZTS薄膜光学性能的影响 | 第47-49页 |
| ·溅射气压对CZTS薄膜光学性能的影响 | 第49-50页 |
| ·硫化氢浓度对CZTS薄膜的光学性能的影响 | 第50-52页 |
| ·CZTS的电学性能 | 第52-55页 |
| ·溅射功率对CZTS薄膜电学性能的影响 | 第52-53页 |
| ·溅射气压对CZTS薄膜电学性能的影响 | 第53-54页 |
| ·硫化氢浓度对CZTS薄膜的电学性能的影响 | 第54-55页 |
| ·本章小结 | 第55-56页 |
| 第四章 CZTS/In_2S_3异质结的初步研究 | 第56-66页 |
| ·太阳能电池的原理 | 第56页 |
| ·CZTS/In_2S_3异质结的制备 | 第56-58页 |
| ·CZTS薄膜的制备 | 第57-58页 |
| ·In_2S_3薄膜的制备 | 第58页 |
| ·金属与半导体的接触特性 | 第58-61页 |
| ·金属电极与In_2S_3薄膜的接触特性 | 第59-60页 |
| ·铝电极与CZTS薄膜的接触特性 | 第60-61页 |
| ·CZTS/In_2S_3异质结的能带图 | 第61页 |
| ·CZTS/In_2S_3异质结的Ⅰ-Ⅴ特性测试及分析 | 第61-64页 |
| ·本章小结 | 第64-66页 |
| 结论 | 第66-68页 |
| 参考文献 | 第68-73页 |
| 致谢 | 第73-74页 |
| 个人简历、在学期间的研究成果及发表的论文 | 第74页 |