| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-8页 |
| 目录 | 第8-11页 |
| 第1章 绪论 | 第11-20页 |
| ·硅片的市场需求及切割工艺历程 | 第11-12页 |
| ·硅片切割方法概述 | 第12-17页 |
| ·外圆切割 | 第12-13页 |
| ·内圆切割 | 第13页 |
| ·多线切割技术 | 第13-16页 |
| ·游离磨料线切割技术 | 第14-15页 |
| ·固结磨料线切割技术 | 第15-16页 |
| ·电火花线切割技术 | 第16-17页 |
| ·固结磨料线锯研究现状及存在问题 | 第17-18页 |
| ·论文的研究意义及内容 | 第18-20页 |
| 第2章 三丝绞合电镀金刚石线锯实验基础 | 第20-31页 |
| ·制造设备的介绍 | 第20页 |
| ·制造原料的介绍 | 第20-24页 |
| ·线芯材料 | 第20-21页 |
| ·金刚石磨粒 | 第21-23页 |
| ·镀液的种类 | 第23-24页 |
| ·电镀金刚石线锯的制造工艺的介绍 | 第24-28页 |
| ·复合电镀 | 第24-25页 |
| ·悬浮法与埋砂法原理 | 第25页 |
| ·悬浮法 | 第25页 |
| ·埋砂法 | 第25页 |
| ·电镀工艺步骤 | 第25-28页 |
| ·预处理 | 第25-26页 |
| ·电镀 | 第26-27页 |
| ·后续处理 | 第27-28页 |
| ·样品的测试 | 第28-30页 |
| ·金相显微镜 | 第28页 |
| ·共聚焦显微镜 | 第28-29页 |
| ·扫描电子显微镜（SEM） | 第29-30页 |
| ·万能材料实验机 | 第30页 |
| ·本章小结 | 第30-31页 |
| 第3章 三丝绞合电镀金刚石线锯切割晶体硅表面质量研究 | 第31-42页 |
| ·前言 | 第31-32页 |
| ·材料的脆性断裂 | 第31-32页 |
| ·材料的塑性去除 | 第32页 |
| ·材料的脆塑转变 | 第32页 |
| ·实验方法 | 第32-37页 |
| ·实验材料 | 第32-33页 |
| ·实验设备 | 第33-35页 |
| ·实验工艺 | 第35-37页 |
| ·结果与讨论 | 第37-41页 |
| ·三丝绞合电镀金刚石线锯对工件表面形貌的影响 | 第37-40页 |
| ·三丝绞合电镀金刚石线锯对试样表面粗糙度的影响 | 第40-41页 |
| ·本章小结 | 第41-42页 |
| 第4章 三丝绞合电镀金刚石线锯的切割效率研究 | 第42-52页 |
| ·前言 | 第42-45页 |
| ·线锯的偏转模型 | 第42-44页 |
| ·X-Y 平面内横向偏转模型 | 第44-45页 |
| ·实验方法 | 第45页 |
| ·结果与讨论 | 第45-51页 |
| ·不同工件进给速度下三丝绞合电镀金刚石线锯与国产单丝电镀金刚石线锯的切割效率分析 | 第45-47页 |
| ·三丝绞合电镀金刚石线锯与国产、进口单丝电镀金刚石线锯的切割效率对比 | 第47-48页 |
| ·三丝绞合电镀金刚石线锯磨损分析 | 第48-51页 |
| ·本章小结 | 第51-52页 |
| 第5章 三丝绞合电镀金刚石线锯的力学性能研究 | 第52-62页 |
| ·前言 | 第52-53页 |
| ·实验方法 | 第53-54页 |
| ·实验设备 | 第53页 |
| ·实验内容 | 第53-54页 |
| ·实验结果 | 第54-60页 |
| ·三丝绞合线芯与电镀镍层后的三丝绞合线锯的力学性能比较 | 第54-56页 |
| ·三丝绞合线锯与国内外单丝线锯的力学性能对比 | 第56-60页 |
| ·本章小结 | 第60-62页 |
| 结论与展望 | 第62-64页 |
| 致谢 | 第64-65页 |
| 参考文献 | 第65-69页 |
| 作者简介 | 第69页 |
| 发表论文和参加科研情况说明 | 第69-70页 |
