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超高加速度精密运动平台研制
单轴气浮台控制系统测试与实现
用于SEM纳米操作的粘滑型精密定位工作台的研究
高精度转台速率平稳性问题研究
基于逆磁致效应的超磁致伸缩微驱动方法研究
三轴稳定跟踪平台设计与研究
纳米级MEMS定位平台的驱动与控制方法研究
被动式微流体混合器的通道拓扑优化
基于微小阀圆形压电晶片驱动器的作用机理与试验研究
基于卡西米尔势能温度场的微电子机械系统性能研究
磁悬浮掩模台的结构设计及其性能研究
基于GMM和柔性铰链的大位移微致动器设计与研究
宏观尺度的纳米级定位控制技术研究
压电管式复合驱动器及其应用研究
纳米工作台机械结构优化设计
超磁致伸缩微位移系统的研究
微机电安全与解除保险机构驱动器设计
介电型EAP摆动驱动器的研究与应用
组合式石英圆柱壳体振动陀螺的研究
定子嵌入式电磁悬浮微马达的关键技术研究
基于移动LIGA光刻技术的微针研究
光学微纳结构的制备方法及应用研究
微机电陀螺工艺允差分析及优化设计
屈曲型微驱动器的设计与分析
柔顺偏摆微动台结构设计及控制方法研究
基于网络的虚拟实验平台的设计与实现
基于显微视觉反馈的自动化超声微操纵技术研究
微流道内的空化研究
宏微双驱动高精度二维运动平台的实现
基于LIGA技术的光热微驱动机构研究
金属波纹管虚拟设计系统开发
多晶铜微梁构件内部应力和强度影响因素的研究
金属微器件制作及微电铸铸层结合强度研究
灰度掩膜图的设计系统研究
蓝紫光敏感硅光电探测器的设计与制作
基于气孔蒸腾机理的仿生微流控泵
磁—压电作用旋转驱动器作用机理与试验研究
基于超声辐射力场的微构件非接触操纵关键技术的研究
微板多物理场耦合非线性动力学研究
微流体脉冲驱动—控制基础实验研究
微针的制备与应用研究
基于拮抗原理的仿生致动元件设计
微悬臂梁机电系统的动力学特性研究
三自由度磁致伸缩驱动平台建模仿真与控制研究
面向加速度检测的MEMS微环谐振腔传感关键技术研究
高精度大行程柔性位移平台技术研究
大行程结构一体化二维微定位台参数化设计及实验
平面三自由度柔顺微定位平台结构与设计研究
面向角速度传感的高Q值微谐振腔及其耦合结构关键技术研究
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