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面向角速度传感的高Q值微谐振腔及其耦合结构关键技术研究

摘要第1-7页
Abstract第7-12页
1 绪论第12-30页
   ·引言第12-16页
   ·光波导谐振腔陀螺第16-23页
   ·高 Q 值光学微谐振腔第23-26页
   ·角速度传感研究对传统微谐振腔及其耦合结构的挑战第26-27页
   ·本论文的意义和主要工作第27-30页
2 高 Q 值光学微谐振腔角速度传感机理第30-50页
   ·光学微谐振腔特征参量介绍第30-35页
     ·品质因子第30-34页
     ·自由频谱宽度第34-35页
     ·精细度第35页
   ·光学微谐振腔角速度传感原理第35-40页
     ·萨格纳克(Sagnac)效应第35-37页
     ·光学微谐振腔角速度传感原理第37-40页
   ·光学微谐振腔角速度传感系统构成第40-46页
     ·传感系统构成第40-43页
     ·光学微谐振腔与锥形光纤的耦合理论第43-46页
   ·光学微谐振腔角速度传感研究中的制约因素第46-49页
   ·本章小结第49-50页
3 光学微谐振腔制备及其耦合系统构建第50-68页
   ·氧化硅光学微谐振腔制备第50-57页
     ·球形微谐振腔的制备第50-51页
     ·盘形微谐振腔的制备第51-53页
     ·环形微谐振腔的制备第53-57页
   ·锥形光纤耦合器第57-61页
     ·锥形光纤的基础理论第57-59页
     ·锥形光纤耦合器制备第59-61页
   ·光学微谐振腔耦合实验第61-66页
     ·光学微谐振腔耦合结构第61-63页
     ·光学微谐振腔谐振特性测试系统第63-65页
     ·光学微谐振腔测试结果第65-66页
   ·光学微谐振腔对比分析第66-67页
   ·本章小结第67-68页
4 光学微谐振腔耦合封装结构的提出、制造与特性测试第68-86页
   ·光学微谐振腔封装结构第68-72页
     ·光学微谐振腔封装结构的提出第68-69页
     ·光学微谐振腔封装结构的分类第69-71页
     ·封装材料第71-72页
   ·点封装结构的实现和特性测试第72-76页
     ·点封装结构的制备第72-74页
     ·点封装结构谐振特性测试第74-76页
   ·全封装结构的实现和性能测试第76-85页
     ·全封装结构的制备第76-80页
     ·全封装结构谐振特性测试第80-85页
   ·本章小结第85-86页
5 封装结构对微谐振腔角速度传感制约因素的抑制第86-108页
   ·机械噪声与外界折射率干扰噪声第86-88页
     ·机械噪声第86-87页
     ·外界折射率干扰噪声第87-88页
   ·封装结构对机械噪声和折射率干扰的抑制第88-98页
     ·全封装结构稳定性测试第88-90页
     ·全封装结构隔离性测试第90-92页
     ·Q 值保持第92-95页
     ·点封装结构机械稳定性测试第95-96页
     ·对比分析第96-98页
   ·热噪声干扰机理及抑制方法第98-101页
     ·热噪声干扰机理第98-100页
     ·微谐振腔热噪声抑制第100-101页
   ·激光器频率噪声抑制方法及频率参考单元构建第101-107页
     ·激光器频率噪声第101-103页
     ·频率参考单元构建第103-106页
     ·对比分析第106-107页
   ·本章小结第107-108页
6 总结与展望第108-114页
   ·本文完成的主要工作第108-110页
   ·工作中的主要创新点第110-111页
   ·下一步工作计划第111-114页
参考文献第114-126页
攻读博士期间发表的论文及所取得的研究成果第126-130页
致谢第130页

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