| 摘要 | 第1-7页 |
| ABSTRACT | 第7-12页 |
| 表格 | 第12-13页 |
| 插图 | 第13-18页 |
| 第一章 绪论 | 第18-40页 |
| ·引言 | 第18页 |
| ·研究背景及意义 | 第18-23页 |
| ·精密定位分类 | 第18-19页 |
| ·宏观尺度纳米级定位控制技术对衍射光栅刻划机的重要性 | 第19-23页 |
| ·宏观尺度纳米级定位技术的主要研究内容 | 第23-25页 |
| ·宏观尺度纳米级定位的国内外研究现状 | 第25-36页 |
| ·本论文的主要研究内容 | 第36-38页 |
| ·本章小结 | 第38-40页 |
| 第二章 宏观尺度纳米级定位系统构建研究 | 第40-64页 |
| ·引言 | 第40页 |
| ·衍射光栅刻划机工作方式及系统组成 | 第40-43页 |
| ·定位工作平台的确定 | 第43-50页 |
| ·宏动台定位系统 | 第46-48页 |
| ·微动台定位系统 | 第48-49页 |
| ·位置测量系统 | 第49-50页 |
| ·定位方式的确定 | 第50-53页 |
| ·间歇式定位 | 第51-52页 |
| ·连续式定位 | 第52页 |
| ·宏动台连续- 微动台间歇式定位 | 第52-53页 |
| ·系统建模方法的确定 | 第53-56页 |
| ·控制策略的确定 | 第56-63页 |
| ·传统PID 控制 | 第57-60页 |
| ·基于神经网络的PID 控制 | 第60-62页 |
| ·神经网络的类型 | 第62-63页 |
| ·本章小结 | 第63-64页 |
| 第三章 宏观尺度纳米级定位系统的灰箱建模研究及其特性分析 | 第64-86页 |
| ·引言 | 第64页 |
| ·灰箱建模的基本过程 | 第64-65页 |
| ·宏微工作台的机理建模 | 第65-71页 |
| ·宏驱动单输入- 双输出的机理建模 | 第66-68页 |
| ·微驱动单输入- 双输出的机理建模 | 第68-70页 |
| ·宏/微驱动双输入- 双输出的机理建模 | 第70-71页 |
| ·系统参数估计 | 第71-80页 |
| ·系统辨识实验设计 | 第72-73页 |
| ·最小二乘法辨识 | 第73-80页 |
| ·动态特性分析 | 第80-84页 |
| ·现有结构参数下系统动态特性分析 | 第80-82页 |
| ·系统动态特性改进方案 | 第82-84页 |
| ·本章小结 | 第84-86页 |
| 第四章 基于神经网络PID 控制的宏观尺度纳米级定位研究 | 第86-112页 |
| ·引言 | 第86页 |
| ·BP 神经网络PID 控制 | 第86-103页 |
| ·BP 神经网络结构 | 第87页 |
| ·BP 神经网络算法原理 | 第87-90页 |
| ·BP 神经网络PID 控制原理 | 第90-95页 |
| ·BP 神经网络PID 控制仿真 | 第95-103页 |
| ·单神经元PID 控制 | 第103-111页 |
| ·单神经元PID 控制的原理 | 第103-106页 |
| ·单神经元PID 控制的仿真 | 第106-111页 |
| ·本章小结 | 第111-112页 |
| 第五章 宏观尺度的纳米级定位实验研究 | 第112-134页 |
| ·引言 | 第112页 |
| ·实验平台搭建 | 第112-117页 |
| ·宏动台驱动电机及控制卡 | 第113-115页 |
| ·微动台微位移器件的选择 | 第115-116页 |
| ·用于工作台位置反馈的测量系统的选择 | 第116-117页 |
| ·计算机控制软件 | 第117-119页 |
| ·微动台定位实验 | 第119-126页 |
| ·阶跃响应实验 | 第119-123页 |
| ·步进定位实验 | 第123-126页 |
| ·光栅刻划定位实验 | 第126-132页 |
| ·间歇式定位实验 | 第126-129页 |
| ·宏动台连续- 微动台间歇式定位实验 | 第129-132页 |
| ·本章小结 | 第132-134页 |
| 第六章 结论与展望 | 第134-138页 |
| ·论文总结 | 第134-135页 |
| ·研究中的新方法和新思路 | 第135-136页 |
| ·后续研究工作的展望 | 第136-138页 |
| 参考文献 | 第138-144页 |
| 致谢 | 第144-146页 |
| 在读期间发表的学术论文与取得的研究成果 | 第146-148页 |
