面向加速度检测的MEMS微环谐振腔传感关键技术研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 1 绪论 | 第9-17页 |
| ·研究背景和意义 | 第9-10页 |
| ·国内外研究现状 | 第10-15页 |
| ·本文的主要研究内容 | 第15-17页 |
| 2 MEMS 环形谐振腔传输理论及特性分析 | 第17-23页 |
| ·微环谐振腔耦合传输机理 | 第17-18页 |
| ·微环谐振腔主要特性指标 | 第18-20页 |
| ·谐振波长 | 第18页 |
| ·自由光谱范围 FSR | 第18-19页 |
| ·谐振峰半高全宽 Dn | 第19页 |
| ·精细度 F | 第19-20页 |
| ·品质因数 Q | 第20页 |
| ·本章小结 | 第20-23页 |
| 3 MEMS 微环谐振腔加速度传感原理 | 第23-29页 |
| ·加速度传感中的光学效应 | 第23-25页 |
| ·倏逝波耦合原理 | 第23页 |
| ·应力双折射效应 | 第23-24页 |
| ·力光耦合效应 | 第24-25页 |
| ·MEMS 微环谐振腔加速度计工作原理 | 第25-27页 |
| ·传感器灵敏度和动态范围 | 第27-28页 |
| ·传感器灵敏度 | 第27页 |
| ·传感器动态范围 | 第27-28页 |
| ·本章小结 | 第28-29页 |
| 4 MEMS 微环谐振腔加速度计的结构设计及仿真 | 第29-49页 |
| ·MEMS 微环谐振腔耦合系统的结构设计及仿真 | 第29-40页 |
| ·传感结构的材料选择 | 第29-30页 |
| ·耦合系统结构设计及仿真 | 第30-37页 |
| ·垂直耦合光栅设计 | 第37-40页 |
| ·悬臂梁结构设计 | 第40-47页 |
| ·悬臂梁的力学特性分析 | 第40-42页 |
| ·悬臂梁结构的静力学分析 | 第42-45页 |
| ·悬臂梁结构模态分析 | 第45-47页 |
| ·本章小结 | 第47-49页 |
| 5 传感结构的工艺研究及测试 | 第49-61页 |
| ·传感结构工艺研究 | 第49-55页 |
| ·MEMS 关键工艺介绍 | 第49-51页 |
| ·版图设计 | 第51-52页 |
| ·微环谐振腔耦合系统工艺流程 | 第52-54页 |
| ·悬臂梁工艺研究 | 第54-55页 |
| ·微环谐振腔耦合系统测试 | 第55-60页 |
| ·锥形光纤的制备 | 第55-57页 |
| ·实验平台的搭建和测试 | 第57-59页 |
| ·测试结果分析 | 第59-60页 |
| ·本章小结 | 第60-61页 |
| 6 总结与展望 | 第61-63页 |
| ·工作总结 | 第61页 |
| ·工作展望 | 第61-63页 |
| 参考文献 | 第63-69页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文及取得的研究成果 | 第69-71页 |
| 致谢 | 第71页 |
