大行程结构一体化二维微定位台参数化设计及实验

摘要	第1-5页
Abstract	第5-7页
目录	第7-10页
第一章 绪论	第10-16页
·微定位技术概述	第10页
·大行程微定位技术国内外研究现状	第10-14页
·单级驱动的大行程纳米定位工作台	第10-13页
·两级驱动的大行程纳米定位工作台	第13-14页
·大行程微定位技术的发展趋势展望	第14页
·本文主要研究内容	第14-16页
第二章 微定位台的方案设计	第16-23页
·引言	第16页
·并联微定位机构	第16页
·新型微定位机构构型	第16-19页
·多功能微驱动接口模块	第16-18页
·一种2-PPr型二平动并联结构微定位平台	第18-19页
·二平动微定位台方案设计	第19-22页
·微定位台机构描述	第19-21页
·微定位台的单元机构划分	第21-22页
·本章小结	第22-23页
第三章 微定位台中各单元机构的刚度模型	第23-42页
·引言	第23页
·柔性运动副的刚度模型	第23-27页
·弹性移动副的刚度模型	第23-24页
·柔性铰链的刚度模型	第24-26页
·柔性梁单元的刚度模型	第26-27页
·柔性机构的刚度分析	第27-28页
·直圆柔性铰链平行导向机构	第28-36页
·平行导向机构描述	第28-29页
·平行导向机构支链的柔度模型	第29-34页
·平行导向机构的刚度模型	第34-35页
·实例分析验证	第35-36页
·弹性折叠梁的刚度建模	第36-41页
·弹性折叠梁的机构描述	第36-37页
·弹性折叠梁支链的柔度模型	第37-39页
·弹性折叠梁的刚度模型	第39-40页
·实例分析验证	第40-41页
·本章小结	第41-42页
第四章 以刚度为目标的结构尺寸设计	第42-51页
·引言	第42页
·微位移放大模块的机构描述	第42-43页
·微位移放大模块的设计计算	第43-48页
·微位移放大模块设计指标	第43页
·微位移放大模块的结构尺寸设计	第43-48页
·基于有限元分析的机构参数修正	第48-50页
·本章小结	第50-51页
第五章 微定位台静力学及运动学分析	第51-63页
·引言	第51页
·微定位台刚度模型的建立	第51-58页
·两输入支链的刚度模型	第52-56页
·建立微定位台末端的刚度模型	第56-58页
·微定位台运动学分析	第58-62页
·微定位台输入支链的运动学分析	第59-61页
·微定位台位置正反解	第61-62页
·微定位台的运动学模型	第62页
·本章小结	第62-63页
第六章 微定位台参数化建模及有限元分析	第63-70页
·引言	第63页
·全柔性机构性能的分析方法	第63页
·基于VC与APDL的微定位台参数化设计	第63-68页
·微定位平台的APDL参数化建模	第64-67页
·基于VC的微定位台参数化分析	第67-68页
·微定位台参数化有限元分析实例	第68-69页
·本章小结	第69-70页
第七章 微定位台实验控制系统	第70-82页
·引言	第70页
·压电陶瓷特性测试	第70-76页
·压电陶瓷概述	第70页
·压电陶瓷测试系统搭建	第70-71页
·蠕变特性测试	第71-73页
·迟滞特性测试	第73-76页
·微定位台测试实验系统	第76-78页
·微定位台实验系统搭建	第76页
·微定位台测试系统界面	第76-77页
·微定位台运动实验测试结果	第77-78页
·微定位台控制系统	第78-81页
·微定位台闭环反馈控制方式	第78-80页
·微定位台控制系统	第80-81页
·本章小结	第81-82页
第八章 总结与展望	第82-84页
·总结	第82-83页
·展望	第83-84页
致谢	第84-85页
参考文献	第85-90页
攻读硕士期间发表的学术论文和参加的科研项目	第90页