磁悬浮掩模台的结构设计及其性能研究
| 摘要 | 第1-4页 |
| ABSTRACT | 第4-6页 |
| 目录 | 第6-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-17页 |
| ·课题研究背景及意义 | 第8-9页 |
| ·光刻机基本原理及组成 | 第9-11页 |
| ·磁悬浮掩模台研究现状 | 第11-15页 |
| ·光刻机掩模台的国外研究现状 | 第11-14页 |
| ·光刻机掩模台的国内研究现状 | 第14页 |
| ·磁悬浮技术的研究现状 | 第14-15页 |
| ·论文选题及课题来源 | 第15页 |
| ·本文的研究内容及章节安排 | 第15-16页 |
| ·本章小结 | 第16-17页 |
| 第二章 磁悬浮掩模台结构设计 | 第17-28页 |
| ·掩模台设计方案 | 第17-21页 |
| ·掩模台机械结构设计 | 第21-27页 |
| ·工作台结构设计 | 第21-24页 |
| ·基座结构设计 | 第24-25页 |
| ·直线电机选择 | 第25-27页 |
| ·本章小结 | 第27-28页 |
| 第三章 磁悬浮掩模台的电磁场分析 | 第28-41页 |
| ·电磁铁结构设计 | 第28-29页 |
| ·电磁力的计算 | 第29-30页 |
| ·有限元分析方法及应用软件 | 第30-32页 |
| ·有限元分析方法概述 | 第30-31页 |
| ·有限元分析软件 | 第31-32页 |
| ·工作台电磁场分析 | 第32-40页 |
| ·电磁场微分方程 | 第32-34页 |
| ·电磁场有限元分析 | 第34-40页 |
| ·U型电磁铁和E型电磁铁电磁场分析 | 第34-36页 |
| ·工作台电磁场耦合仿真分析 | 第36-40页 |
| ·本章小结 | 第40-41页 |
| 第四章 磁悬浮掩模台的力学特性分析 | 第41-61页 |
| ·掩模台力学模型的建立 | 第41-49页 |
| ·掩模台的力学模型 | 第41-47页 |
| ·电磁支撑刚度 | 第47-49页 |
| ·工作台的静力学分析 | 第49-56页 |
| ·掩模台静止停放 | 第51-52页 |
| ·掩模台悬浮运动 | 第52-56页 |
| ·工作台的模态分析 | 第56-60页 |
| ·部件模态分析 | 第56-58页 |
| ·整体模态分析 | 第58-60页 |
| ·本章小结 | 第60-61页 |
| 第五章 磁悬浮掩模台的有限元热学分析 | 第61-72页 |
| ·传热机理 | 第61-63页 |
| ·热传递的方式 | 第61-62页 |
| ·温度场基本微分方程 | 第62-63页 |
| ·热参数的确定 | 第63-65页 |
| ·功率损耗 | 第63-64页 |
| ·其他热参数 | 第64-65页 |
| ·热仿真分析 | 第65-71页 |
| ·热仿真分析 | 第65-67页 |
| ·实验验证 | 第67-69页 |
| ·真空环境下的热分析 | 第69-70页 |
| ·电磁铁冷却方案设计 | 第70-71页 |
| ·本章小结 | 第71-72页 |
| 第六章 结论与展望 | 第72-74页 |
| ·结论 | 第72-73页 |
| ·进一步的研究工作与展望 | 第73-74页 |
| 参考文献 | 第74-79页 |
| 致谢 | 第79-80页 |
| 攻读硕士学位期间的主要研究成果 | 第80页 |
