| 致谢 | 第3-4页 |
| 摘要 | 第4-5页 |
| abstract | 第5-6页 |
| 变量注释表 | 第19-21页 |
| 1 绪论 | 第21-33页 |
| 1.1 研究背景及课题来源 | 第21-22页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第22-31页 |
| 1.3 研究目标及论文框架 | 第31-32页 |
| 1.4 本章小结 | 第32-33页 |
| 2 柔顺偏摆微动台的结构设计 | 第33-66页 |
| 2.1 概述 | 第33-34页 |
| 2.2 柔顺偏摆微动台的结构方案 | 第34-35页 |
| 2.3 多自由度柔性铰链设计 | 第35-50页 |
| 2.4 柔顺桥式位移放大机构设计 | 第50-62页 |
| 2.5 柔顺偏摆微动台的模块化设计及实现 | 第62-65页 |
| 2.6 本章小结 | 第65-66页 |
| 3 柔顺偏摆微动台的静力学分析方法研究 | 第66-87页 |
| 3.1 概述 | 第66-67页 |
| 3.2 基于卡氏位移定理的柔顺偏摆微动台静力学分析 | 第67-79页 |
| 3.3 基于柔度矩阵法的柔顺偏摆微动台静力学分析 | 第79-86页 |
| 3.4 本章小结 | 第86-87页 |
| 4 柔顺偏摆微动台的动力学分析方法研究 | 第87-102页 |
| 4.1 概述 | 第87页 |
| 4.2 空间柔顺机构的三维动力学建模过程 | 第87-94页 |
| 4.3 柔顺桥式位移放大机构的动力学建模及分析 | 第94-99页 |
| 4.4 柔顺偏摆微动台的动力学建模 | 第99-101页 |
| 4.5 本章小结 | 第101-102页 |
| 5 柔顺偏摆微动台的精密定位控制 | 第102-113页 |
| 5.1 概述 | 第102页 |
| 5.2 柔顺偏摆微动台精密定位实验系统 | 第102-106页 |
| 5.3 柔顺偏摆微动台精密定位控制系统设计 | 第106-107页 |
| 5.4 压电陶瓷驱动器的磁滞建模及微动台运动学参数辨识 | 第107-108页 |
| 5.5 柔顺偏摆微动台精密定位控制实验研究 | 第108-112页 |
| 5.6 本章小结 | 第112-113页 |
| 6 结论与展望 | 第113-115页 |
| 6.1 研究结论 | 第113-114页 |
| 6.2 主要创新点 | 第114页 |
| 6.3 研究展望 | 第114-115页 |
| 参考文献 | 第115-129页 |
| 作者简历 | 第129-132页 |
| 学位论文数据集 | 第132页 |