微悬臂梁机电系统的动力学特性研究
| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-11页 |
| 第一章 绪论 | 第11-19页 |
| ·引言 | 第11页 |
| ·MEMS 的基本概念和特征 | 第11-13页 |
| ·MEMS 的基本概念 | 第11-12页 |
| ·MEMS 的基本特征 | 第12-13页 |
| ·MEMS 动力学研究现状 | 第13-17页 |
| ·MEMS 阻尼研究现状 | 第14页 |
| ·微梁结构MEMS 动力学研究现状 | 第14-17页 |
| ·本文主要工作及框架 | 第17-19页 |
| 第二章 微悬臂梁 | 第19-33页 |
| ·滑膜阻尼 | 第19-23页 |
| ·Couette 流模型 | 第20页 |
| ·Stokes 流模型 | 第20-21页 |
| ·考虑边界滑移模型 | 第21-23页 |
| ·压膜阻尼 | 第23-26页 |
| ·长条矩形板压膜阻尼 | 第23-24页 |
| ·普通矩形板压膜阻尼 | 第24页 |
| ·考虑气体压缩性压膜阻尼 | 第24-26页 |
| ·仿真及结果分析 | 第26-31页 |
| ·滑膜阻尼 | 第26-28页 |
| ·压膜阻尼 | 第28-31页 |
| ·本章小结 | 第31-33页 |
| 第三章 微悬臂梁非线 | 第33-55页 |
| ·微悬臂梁机电流体耦合模型建立 | 第33-36页 |
| ·微悬臂梁机电流体耦合自由振动分析 | 第36-41页 |
| ·静态位移求解 | 第37-38页 |
| ·模态分析 | 第38-39页 |
| ·动态响应求解 | 第39-41页 |
| ·微悬臂梁机电流体耦合受迫振动分析 | 第41-44页 |
| ·数值仿真及结果分析 | 第44-53页 |
| ·静态位移分析 | 第44-46页 |
| ·模态分析 | 第46-47页 |
| ·自由振动分析 | 第47-52页 |
| ·受迫振动分析 | 第52-53页 |
| ·本章小结 | 第53-55页 |
| 第四章 横向振动微梳状谐振器动力学分析 | 第55-74页 |
| ·横向微梳状谐振器结构和工作原理 | 第55-56页 |
| ·微梳状谐振器静电力分析 | 第56-59页 |
| ·无限大平板模型 | 第57页 |
| ·考虑边缘效应的模型 | 第57-58页 |
| ·考虑加工制造误差的模型 | 第58-59页 |
| ·空气阻尼分析 | 第59-63页 |
| ·谐振器可动部分与基底间的滑膜阻尼 | 第60页 |
| ·谐振器可动部分上方的滑膜阻尼 | 第60-61页 |
| ·可动梳齿与固定梳齿间的滑膜阻尼 | 第61页 |
| ·可动梳齿端面的阻尼 | 第61-62页 |
| ·可动部分侧面的滑膜阻尼 | 第62-63页 |
| ·微梳齿谐振器动力学方程 | 第63-64页 |
| ·结果分析 | 第64-72页 |
| ·模态分析 | 第64-66页 |
| ·梳齿电容分析 | 第66-68页 |
| ·幅频特性分析 | 第68-70页 |
| ·品质因子分析 | 第70-72页 |
| ·本章小结 | 第72-74页 |
| 第五章 轻敲式原子力显微镜非线性动力学分析 | 第74-91页 |
| ·原子力显微镜工作原理 | 第74-75页 |
| ·动力学模型建立 | 第75-82页 |
| ·有界噪声模型 | 第75-76页 |
| ·弯月面力模型 | 第76-78页 |
| ·Lennard-Jones 力场 | 第78-80页 |
| ·系统动力学模型 | 第80-82页 |
| ·数值仿真结果及分析 | 第82-89页 |
| ·随机扰动强度 | 第83-85页 |
| ·材料特性参数 | 第85-87页 |
| ·弯月面接触角 | 第87-89页 |
| ·本章小结 | 第89-91页 |
| 第六章 总结与展望 | 第91-93页 |
| ·本文总结 | 第91-92页 |
| ·展望 | 第92-93页 |
| 参考文献 | 第93-99页 |
| 致谢 | 第99-101页 |
| 攻读硕士学位期间已发表或录用的论文 | 第101页 |
