纳米工作台机械结构优化设计
| 摘要 | 第1-10页 |
| ABSTRACT | 第10-12页 |
| 致谢 | 第12-19页 |
| 第一章 绪论 | 第19-25页 |
| ·课题研究背景、意义及来源 | 第19-20页 |
| ·纳米工作台国内外研究现状 | 第20-23页 |
| ·纳米微动工作台国内外研究现状 | 第20-22页 |
| ·大行程纳米工作台国内外研究现状 | 第22-23页 |
| ·本文主要研究内容 | 第23-25页 |
| 第二章 大行程纳米工作台机械结构设计 | 第25-36页 |
| ·导向模式研究 | 第25-30页 |
| ·高精度低摩擦磁浮-滑动复合导轨研究 | 第26-29页 |
| ·高精度滚动导轨选择与应用 | 第29-30页 |
| ·近零阿贝误差结构设计 | 第30-31页 |
| ·不同电机驱动下的工作台结构设计 | 第31-35页 |
| ·双模态超声波电机驱动工作台的结构设计 | 第32-34页 |
| ·圆筒型永磁直线同步电机驱动工作台的结构设计 | 第34-35页 |
| ·小结 | 第35-36页 |
| 第三章 大行程纳米工作台结构优化设计 | 第36-54页 |
| ·二维工作台结构优化设计 | 第36-42页 |
| ·悬浮磁铁副的优化选型 | 第36-39页 |
| ·力平衡结构设计 | 第39-42页 |
| ·三维工作台结构优化设计 | 第42-53页 |
| ·直线电机偏心安装设计 | 第42-45页 |
| ·磁流变液阻尼器与配重块设计 | 第45-46页 |
| ·工作台结构参数研究 | 第46-53页 |
| ·小结 | 第53-54页 |
| 第四章 大行程纳米工作台实验研究及标定实验 | 第54-74页 |
| ·二维工作台标定实验 | 第54-57页 |
| ·三维工作台实验研究及标定实验 | 第57-73页 |
| ·三维工作台定位特性实验研究 | 第57-60页 |
| ·不同步距驱动定位稳定性及重复性标定实验 | 第60-62页 |
| ·驱动分辨率标定实验 | 第62-64页 |
| ·工作台导轨直线度标定实验 | 第64-71页 |
| ·定位精度标定实验 | 第71-73页 |
| ·小结 | 第73-74页 |
| 第五章 六自由度纳米微动工作台结构研究 | 第74-102页 |
| ·整体结构设计 | 第74-76页 |
| ·建立运动数学模型 | 第76-82页 |
| ·建立单自由度运动数学模型 | 第76-79页 |
| ·建立六自由度运动数学模型 | 第79-81页 |
| ·结构参数对运动范围和分辨率的影响 | 第81-82页 |
| ·关键零件结构设计 | 第82-100页 |
| ·压电陶瓷驱动器封装装夹方式研究 | 第82-89页 |
| ·柔性铰链结构参数的优化设计 | 第89-100页 |
| ·动力学分析 | 第100-101页 |
| ·小结 | 第101-102页 |
| 第六章 总结与展望 | 第102-104页 |
| ·研究工作的总结 | 第102-103页 |
| ·研究工作的展望 | 第103-104页 |
| 参考文献 | 第104-110页 |
| 攻读博士学位期间发表论文及成果 | 第110-112页 |
