| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-10页 |
| 第一章 绪论 | 第10-25页 |
| ·引言 | 第10-11页 |
| ·MEMS微针研究现状 | 第11-22页 |
| ·国外研究现状 | 第11-19页 |
| ·硅微针 | 第11-14页 |
| ·金属微针 | 第14-16页 |
| ·聚合物微针 | 第16-19页 |
| ·国内研究现状 | 第19-22页 |
| ·微针在药物传输和血液采样上的应用 | 第22-24页 |
| ·本论文的研究意义和研究内容 | 第24-25页 |
| ·研究意义 | 第24页 |
| ·研究内容 | 第24-25页 |
| 第二章 移动LIGA光刻工艺制作PMMA微针 | 第25-42页 |
| ·传统LIGA工艺 | 第25-28页 |
| ·基于双X射线光刻的LIGA工艺 | 第28-32页 |
| ·偏斜式LIGA光刻工艺 | 第29-30页 |
| ·移动LIGA光刻工艺 | 第30-32页 |
| ·基于移动LIGA光刻工艺的PMMA微针制作 | 第32-40页 |
| ·光刻胶材料 | 第32-33页 |
| ·移动X射线光刻 | 第33-38页 |
| ·光刻设备 | 第33-35页 |
| ·X射线掩模板的制备 | 第35-37页 |
| ·X射线曝光 | 第37-38页 |
| ·显影 | 第38-39页 |
| ·PMMA微针 | 第39-40页 |
| ·本章小结 | 第40-42页 |
| 第三章 基于移动LIGA光刻技术的微针尖端尺寸控制 | 第42-64页 |
| ·引言 | 第42-44页 |
| ·显影时间 | 第44-47页 |
| ·掩模板图案形状及倾斜角 | 第47-56页 |
| ·等腰三角形的吸收体图案掩模板 | 第49-52页 |
| ·平行四边形吸收体图案掩模板 | 第52-53页 |
| ·沙漏形的吸收体图案掩模板 | 第53-56页 |
| ·X射线曝光剂量 | 第56-62页 |
| ·本章小结 | 第62-64页 |
| 第四章PMMA微针的性能分析及应用 | 第64-76页 |
| ·引言 | 第64-65页 |
| ·性能分析 | 第65-67页 |
| ·PMMA微针应用 | 第67-75页 |
| ·PDMS转模 | 第68页 |
| ·电镀金属 | 第68-70页 |
| ·金属微针制作 | 第70-72页 |
| ·微针金属模具制作 | 第72-75页 |
| ·本章小结 | 第75-76页 |
| 第五章 总结与展望 | 第76-78页 |
| 参考文献 | 第78-83页 |
| 致谢 | 第83-84页 |
| 攻读硕士学位期间已录用或发表的论文 | 第84-86页 |