蓝紫光敏感硅光电探测器的设计与制作
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-8页 |
| 1 绪论 | 第8-13页 |
| ·课题背景及研究意义 | 第8-9页 |
| ·国内外研究现状 | 第9-11页 |
| ·课题来源及本文的主要研究内容 | 第11-13页 |
| 2 光电探测器的结构与工艺流程设计 | 第13-27页 |
| ·光电探测器的工作原理与材料选取 | 第13-14页 |
| ·光电二极管的工作原理 | 第13-14页 |
| ·光电探测器的材料 | 第14页 |
| ·光电探测器的结构设计与性能分析 | 第14-19页 |
| ·光电探测器的基本结构 | 第14-16页 |
| ·电极结构的优化设计 | 第16-18页 |
| ·光谱响应度的建模推导 | 第18-19页 |
| ·光电探测器的工艺流程设计 | 第19-27页 |
| ·半导体工艺介绍 | 第19-22页 |
| ·光电探测器工艺流程简介 | 第22-27页 |
| 3 光谱响应度测试系统设计 | 第27-37页 |
| ·硅光电二极管性能参数 | 第27-29页 |
| ·光谱响应度 | 第27-28页 |
| ·量子效率 | 第28-29页 |
| ·暗电流及伏安特性 | 第29页 |
| ·硅光电二极管响应度测试方案 | 第29-31页 |
| ·测量原理 | 第29-31页 |
| ·选择参考探测器 | 第31页 |
| ·光谱响应度测试系统实验装置简介 | 第31-37页 |
| ·出射光路设计 | 第34-35页 |
| ·PCB基座设计 | 第35-37页 |
| 4 光电探测器的性能测试 | 第37-45页 |
| ·光谱响应度测试 | 第37-40页 |
| ·光谱响应度测试步骤 | 第37页 |
| ·测试系统可行性验证 | 第37-38页 |
| ·硅光电二极管光谱响应度测试 | 第38-40页 |
| ·伏安特性测试 | 第40-42页 |
| ·探测器性能分析 | 第42-45页 |
| ·探测器光谱响应度性能分析 | 第42-43页 |
| ·探测器暗电流性能分析 | 第43-45页 |
| 5 与CMOS工艺兼容的蓝紫光探测器设计 | 第45-52页 |
| ·探测器的设计理论 | 第45-46页 |
| ·探测器的结构设计 | 第46-50页 |
| ·基本结构与工艺 | 第46-48页 |
| ·减反膜的优化设计 | 第48-50页 |
| ·光谱响应度仿真 | 第50-51页 |
| ·本章小结 | 第51-52页 |
| 结论 | 第52-53页 |
| 参考文献 | 第53-56页 |
| 附录A 光刻板 | 第56-59页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第59-60页 |
| 致谢 | 第60-61页 |
