基于LIGA技术的光热微驱动机构研究
| 致谢 | 第1-5页 |
| 摘要 | 第5-7页 |
| ABSTRACT | 第7-9页 |
| 目录 | 第9-12页 |
| 第一章 绪论 | 第12-18页 |
| ·微光机电系统的发展历史与现状 | 第12-13页 |
| ·微驱动器及其应用 | 第13-15页 |
| ·本文的主要研究内容及成果 | 第15-18页 |
| 第二章 微纳米加工制备技术 | 第18-24页 |
| ·概述 | 第18页 |
| ·常用的几种微加工技术 | 第18-19页 |
| ·LIGA技术及其应用 | 第19-21页 |
| ·同步辐射装置与LIGA实验站 | 第21-24页 |
| 第三章 光热膨胀机制的理论模型及仿真研究 | 第24-36页 |
| ·光热膨胀的微观机制 | 第24-25页 |
| ·微膨胀臂的热学模型 | 第25-28页 |
| ·微膨胀臂的三维模型 | 第25-26页 |
| ·微膨胀臂的一维简化模型 | 第26-28页 |
| ·微膨胀臂的仿真研究 | 第28-36页 |
| ·不同导热系数对温度场的影响 | 第28-30页 |
| ·光斑位置对温度场与伸长量的影响 | 第30-34页 |
| ·激光功率对温度场与伸长量的影响 | 第34-36页 |
| 第四章 光热微驱动机构的设计及LIGA加工制备 | 第36-52页 |
| ·开关型光热微驱动器 | 第36-43页 |
| ·结构设计及其驱动机制 | 第36-37页 |
| ·仿真分析及其优化 | 第37-43页 |
| ·V型光热微驱动器 | 第43-47页 |
| ·V型光热微驱动器结构设计及分析 | 第43-44页 |
| ·仿真研究 | 第44-47页 |
| ·其他微驱动机构的设计 | 第47-49页 |
| ·微型光热旋转机构 | 第47-48页 |
| ·光热微镊子 | 第48-49页 |
| ·采用金属材料及LIGA技术的光热微驱动机构制备 | 第49-52页 |
| 第五章 光热微驱动器的控制及显微观测系统 | 第52-59页 |
| ·系统总体设计 | 第52-53页 |
| ·驱动控制光路 | 第53-54页 |
| ·显微观测系统 | 第54-56页 |
| ·显微成像光路 | 第54-56页 |
| ·CCD成像模块 | 第56页 |
| ·测量与分析软件 | 第56-59页 |
| 第六章 光热微驱动机构的实验研究 | 第59-73页 |
| ·开关型光热微驱动器的实验研究 | 第59-67页 |
| ·808nm激光驱动实验 | 第59-60页 |
| ·1064nm激光光斑位置对偏移量(振幅)的影响 | 第60-63页 |
| ·激光功率与偏移量(振幅)的关系研究 | 第63-65页 |
| ·动态频率响应实验 | 第65-67页 |
| ·V型光热微驱动器的实验研究 | 第67-71页 |
| ·808nm激光驱动实验 | 第67-68页 |
| ·1064nm激光功率与形变量(振幅)的关系研究 | 第68-70页 |
| ·动态频率响应实验 | 第70-71页 |
| ·光热驱动微开关的探索性应用研究 | 第71-73页 |
| 第七章 总结与展望 | 第73-76页 |
| ·总结 | 第73-74页 |
| ·展望 | 第74-76页 |
| 参考文献 | 第76-82页 |
| 附录A 硕士期间发表论文情况 | 第82-83页 |
| 作者简介 | 第83页 |
