屈曲型微驱动器的设计与分析
| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-7页 |
| 第一章 绪论 | 第7-15页 |
| ·MEMS简介 | 第7-9页 |
| ·MEMS的特点 | 第7页 |
| ·MEMS典型器件及系统 | 第7-8页 |
| ·MEMS存在问题 | 第8-9页 |
| ·微驱动器简介 | 第9-14页 |
| ·微驱动器的驱动原理 | 第9-11页 |
| ·微驱动器的驱动方式 | 第11-12页 |
| ·微驱动器的加工技术 | 第12页 |
| ·微驱动器的分类 | 第12-13页 |
| ·微驱动器的国内外发展状况 | 第13-14页 |
| ·论文所做主要工作 | 第14-15页 |
| 第二章 屈曲型微驱动器的设计模型及原理 | 第15-27页 |
| ·设计模型 | 第15-16页 |
| ·工作原理及设计参数 | 第16-20页 |
| ·工作原理 | 第16-17页 |
| ·受力等效模型 | 第17页 |
| ·设计参数 | 第17-20页 |
| ·设计原理 | 第20-26页 |
| ·压杆失稳 | 第20-21页 |
| ·静电驱动原理 | 第21-24页 |
| ·轴向拉伸或压缩变形 | 第24-26页 |
| ·纵横弯曲的概念 | 第26页 |
| ·本章小结 | 第26-27页 |
| 第三章 屈曲型微驱动器的静力分析 | 第27-41页 |
| ·欧拉载荷使用范围 | 第27-28页 |
| ·临界载荷和外构架 | 第28-30页 |
| ·临界载荷计算 | 第28-29页 |
| ·外构架内侧尺寸确定 | 第29-30页 |
| ·挠度控制方程 | 第30-39页 |
| ·支座反力与反力矩 | 第31-34页 |
| ·驱动电压与调节电压 | 第34-39页 |
| ·本章小结 | 第39-41页 |
| 第四章 屈曲型微驱动器的动力分析 | 第41-52页 |
| ·模态分析 | 第41-44页 |
| ·瞬态分析 | 第44-49页 |
| ·特性参数 | 第49-51页 |
| ·隔离度 | 第49-50页 |
| ·插入损耗 | 第50-51页 |
| ·本章小结 | 第51-52页 |
| 第五章 总结与展望 | 第52-54页 |
| ·总结 | 第52页 |
| ·展望 | 第52-54页 |
| 致谢 | 第54-56页 |
| 参考文献 | 第56-60页 |
| 作者在读期间科研成果 | 第60-61页 |
