定子嵌入式电磁悬浮微马达的关键技术研究
| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-25页 |
| ·悬浮技术及其分类 | 第10-12页 |
| (1) 空气动力悬浮 | 第10页 |
| (2) 超声悬浮 | 第10-11页 |
| (3) 光悬浮 | 第11页 |
| (4) 电悬浮 | 第11-12页 |
| (5) 磁悬浮 | 第12页 |
| ·悬浮技术在MEMS 中的应用 | 第12-14页 |
| （1） 静电悬浮式转子微陀螺 | 第13页 |
| （2） 抗磁悬浮转子微陀螺 | 第13页 |
| （3） 交流电磁悬浮转子微陀螺 | 第13-14页 |
| ·基于悬浮技术的MEMS 器件发展现状 | 第14-21页 |
| ·静电悬浮MEMS 技术的相关研究和发展现状 | 第14-17页 |
| ·抗磁悬浮MEMS 技术的相关研究和研究现状 | 第17-19页 |
| ·电磁悬浮MEMS 技术的相关研究和研究现状 | 第19-21页 |
| ·本课题的研究意义和内容 | 第21-22页 |
| ·课题的研究意义 | 第21-22页 |
| ·课题的研究内容 | 第22页 |
| ·小结 | 第22-23页 |
| 参考文献 | 第23-25页 |
| 第二章 定子嵌入式电磁悬浮微马达的工作原理 | 第25-37页 |
| ·悬浮和稳定 | 第25-30页 |
| ·悬浮和稳定的磁力线分析法 | 第26-28页 |
| ·悬浮和稳定的等相位分析法 | 第28-30页 |
| ·旋转 | 第30-32页 |
| ·定子嵌入式电磁悬浮微马达的结构设计 | 第32-35页 |
| ·小结 | 第35-36页 |
| 参考文献 | 第36-37页 |
| 第三章 定子嵌入式电磁悬浮微马达的有限元分析 | 第37-54页 |
| ·涡流理论 | 第37-39页 |
| ·静态悬浮稳定特性研究 | 第39-47页 |
| ·静态悬浮特性研究 | 第40-45页 |
| ·微转子稳定特性研究 | 第45-47页 |
| ·动态旋转特性分析 | 第47-51页 |
| ·小结 | 第51-52页 |
| 参考文献 | 第52-54页 |
| 第四章 定子嵌入式电磁悬浮微马达的工艺加工 | 第54-67页 |
| ·定子加工方法 | 第55-62页 |
| ·基本加工工艺简介 | 第57-60页 |
| ·定子制作的工艺流程 | 第60-62页 |
| ·转子的加工方法 | 第62-64页 |
| ·小结 | 第64-66页 |
| 参考文献 | 第66-67页 |
| 第五章 定子嵌入式电磁悬浮微马达的电路设计 | 第67-80页 |
| ·信号发生器设计 | 第67-75页 |
| ·信号发生器工作原理 | 第67-69页 |
| ·信号发生器硬件电路设计 | 第69-71页 |
| ·信号发生器的软件设计 | 第71-72页 |
| ·信号发生器的测试 | 第72-75页 |
| ·悬浮稳定电路设计 | 第75-76页 |
| ·旋转驱动电路设计 | 第76-78页 |
| ·小结 | 第78页 |
| 参考文献 | 第78-80页 |
| 第六章 全文总结和展望 | 第80-84页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文及专利 | 第84-85页 |
| 致谢 | 第85-87页 |
