纳米级MEMS定位平台的驱动与控制方法研究
| 摘要 | 第1-7页 |
| ABSTRACT | 第7-11页 |
| 第1章 绪论 | 第11-23页 |
| ·论文的背景和意义 | 第11-12页 |
| ·国内外研究现状 | 第12-16页 |
| ·微定位平台驱动方式研究现状 | 第12-15页 |
| ·微定位平台控制技术的研究现状 | 第15-16页 |
| ·FPGA的应用优势 | 第16-17页 |
| ·硅基集成式微型平面纳米级定位平台简介 | 第17-20页 |
| ·定位平台的结构简介 | 第17页 |
| ·定位平台的驱动位移模型 | 第17-20页 |
| ·本文主要研究内容及结构安排 | 第20-23页 |
| 第2章 微定位平台控制器硬件电路设计 | 第23-43页 |
| ·系统总体设计方案 | 第23-24页 |
| ·MEMS微定位平台控制器各功能模块设计 | 第24-41页 |
| ·主控制器模块 | 第24-28页 |
| ·输入输出模块 | 第28-30页 |
| ·升压电路模块 | 第30-34页 |
| ·功率放大电路模块 | 第34-38页 |
| ·采样反馈电路模块 | 第38-41页 |
| ·本章小结 | 第41-43页 |
| 第3章 FPGA的应用开发 | 第43-55页 |
| ·FPGA开发环境Quartus Ⅱ简介 | 第43-44页 |
| ·Verilog HDL简介 | 第44-45页 |
| ·键盘控制逻辑设计 | 第45-49页 |
| ·频率产生电路 | 第46页 |
| ·去抖电路 | 第46-47页 |
| ·扫描码产生电路 | 第47页 |
| ·译码电路 | 第47-48页 |
| ·键盘控制逻辑仿真 | 第48-49页 |
| ·FPGA主控制逻辑设计 | 第49-54页 |
| ·Nios Ⅱ软核处理器简介 | 第49-50页 |
| ·SOPC设计 | 第50-54页 |
| ·本章小结 | 第54-55页 |
| 第4章 软件控制策略的实现 | 第55-63页 |
| ·Nios Ⅱ IDE简介 | 第55-56页 |
| ·软件控制策略总体设计 | 第56页 |
| ·输入输出控制 | 第56-59页 |
| ·输入控制 | 第56-58页 |
| ·输出控制 | 第58-59页 |
| ·数据转换控制 | 第59-60页 |
| ·积分分离式PID控制 | 第60-62页 |
| ·本章小结 | 第62-63页 |
| 第5章 微定位平台控制器实验研究 | 第63-73页 |
| ·实验系统的组成 | 第63-65页 |
| ·实验系统构成 | 第63页 |
| ·实验系统工作过程 | 第63-65页 |
| ·微定位平台控制器的实验测试 | 第65-71页 |
| ·开环控制实验 | 第65-68页 |
| ·积分分离式PID控制实验 | 第68-71页 |
| ·本章小结 | 第71-73页 |
| 结论 | 第73-75页 |
| 参考文献 | 第75-79页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文和取得的科研成果 | 第79-81页 |
| 致谢 | 第81页 |
