| 致谢 | 第1-5页 |
| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 目次 | 第7-9页 |
| 第1章 绪论 | 第9-21页 |
| ·宏微双驱动平台的研究背景 | 第9-11页 |
| ·宏微双驱动平台的研究现状 | 第11-18页 |
| ·宏驱动平台的实现方式 | 第11页 |
| ·微驱动平台的实现方式 | 第11-12页 |
| ·宏微双驱动平台的测量技术 | 第12-14页 |
| ·宏微双驱动平台的控制策略 | 第14-15页 |
| ·宏微双驱动平台的整体设计与研究 | 第15-18页 |
| ·宏微双驱动平台的未来发展方向 | 第18页 |
| ·研究目标及意义 | 第18-19页 |
| ·论文主要研究内容 | 第19页 |
| ·本章小结 | 第19-21页 |
| 第2章 二维微驱动平台的设计与研究 | 第21-44页 |
| ·二维微驱动平台的设计与分析 | 第21-29页 |
| ·微驱动平台的设计 | 第21-23页 |
| ·微驱动平台的结构参数计算 | 第23-26页 |
| ·微驱动平台的ANSYS仿真分析 | 第26-29页 |
| ·压电陶瓷驱动器的基本特性 | 第29-32页 |
| ·压电陶瓷驱动的二维微驱动平台特性研究 | 第32-43页 |
| ·压电陶瓷驱动的二维微驱动平台的理论模型 | 第32-34页 |
| ·压电陶瓷驱动的二维微驱动平台驱动电压与位移输出的关系 | 第34-39页 |
| ·压电陶瓷驱动的二维微驱动平台的系统辨识 | 第39-43页 |
| ·本章小结 | 第43-44页 |
| 第3章 直线步进马达运动系统的搭建及系统辨识 | 第44-66页 |
| ·步进马达的工作原理 | 第44-46页 |
| ·宏驱动平台系统的搭建及调试 | 第46-52页 |
| ·步进马达的系统辨识 | 第52-61页 |
| ·系统辨识的原理 | 第53-56页 |
| ·步进马达系统辨识的实验参数选择 | 第56-57页 |
| ·系统辨识的输入信号发生 | 第57-58页 |
| ·步进马达系统辨识的实验及分析 | 第58-61页 |
| ·基于模型的预测补偿仿真 | 第61-64页 |
| ·本章小结 | 第64-66页 |
| 第4章 宏微双驱动运动平台系统的构建及实验研究 | 第66-86页 |
| ·宏微双驱动运动平台控制方法的研究 | 第66-69页 |
| ·微驱动平台的控制策略 | 第66-67页 |
| ·宏微双驱动协调控制策略 | 第67-69页 |
| ·宏微双驱动运动平台的系统设计 | 第69-80页 |
| ·A/D转换器转换准确性测试 | 第70-71页 |
| ·激光动态校准仪测量准确性测试 | 第71-72页 |
| ·宏驱动平台与微驱动平台耦合测试 | 第72-76页 |
| ·微驱动平台X方向与Y方向耦合情况分析 | 第76-80页 |
| ·宏微双驱动系统的实验结果及分析 | 第80-84页 |
| ·小行程、小采样频率的宏微双驱动实时补偿实验 | 第80-81页 |
| ·较大行程、小采样频率的宏微双驱动实时补偿实验 | 第81-83页 |
| ·较大行程、大采样频率的宏微双驱动实时补偿实验 | 第83-84页 |
| ·本章小结 | 第84-86页 |
| 第5章 结论与展望 | 第86-88页 |
| ·结论 | 第86-87页 |
| ·展望 | 第87-88页 |
| 参考文献 | 第88-91页 |
| 硕士期间发表的论文及研究成果 | 第91页 |