| 摘要 | 第1-7页 |
| Abstract | 第7-9页 |
| 1 绪论 | 第9-16页 |
| ·MEMS 微梁构件强化和微损伤机理的研究意义 | 第9-10页 |
| ·MEMS 微梁构件强化和微损伤机理的研究方法 | 第10-12页 |
| ·耦合场分析 | 第10页 |
| ·机电耦合分析 | 第10-12页 |
| ·MEMS 微梁构件强化和微损伤机理的国内外研究现状 | 第12-14页 |
| ·MEMS 微梁构件强化和微损伤机理国外研究现状 | 第12-13页 |
| ·MEMS 微梁构件强化和微损伤机理国内研究现状 | 第13-14页 |
| ·本课题拟解决的关键问题和研究方案的确定 | 第14页 |
| ·本课题研究的主要内容 | 第14-16页 |
| 2 多晶铜微梁微损伤的内部驱动应力细观力学研究 | 第16-23页 |
| ·晶体学基础 | 第16-18页 |
| ·多晶体铜微梁结构的微尺寸力学分析模型 | 第18-19页 |
| ·多晶体铜的弹性模量计算 | 第19-20页 |
| ·多晶体铜微梁结构的微尺寸应力计算 | 第20-22页 |
| ·结论 | 第22-23页 |
| 3 多晶铜微梁构件微损伤诱发应力理论分析 | 第23-33页 |
| ·多晶体铜微梁结构的晶界应力计算 | 第23页 |
| ·晶界与晶胞的滑移启动情况 | 第23-26页 |
| ·多晶铜晶体的晶界与各个晶粒的应变分析 | 第26-29页 |
| ·微梁厚度与微观晶粒尺寸的影响及关系模型 | 第29-32页 |
| ·结论 | 第32-33页 |
| 4 多晶铜微悬臂梁固定端的应力有限元分析 | 第33-40页 |
| ·微梁的有效弹性模量的计算 | 第33-36页 |
| ·微悬臂梁的力学分析模型 | 第36-37页 |
| ·运用有限元软件分析应力与厚度的关系 | 第37-39页 |
| ·结论 | 第39-40页 |
| 5 多晶铜悬臂梁的疲劳影响因素的分析 | 第40-50页 |
| ·疲劳定义及损伤机理 | 第40页 |
| ·疲劳寿命的理论计算 | 第40-42页 |
| ·疲劳寿命的有限元分析 | 第42-45页 |
| ·影响疲劳寿命的因素分析 | 第45-49页 |
| ·影响吸合电压的因素分析 | 第45-46页 |
| ·影响最大应力的因素分析 | 第46-49页 |
| ·结论 | 第49-50页 |
| 6 总结与展望 | 第50-51页 |
| 参考文献 | 第51-54页 |
| 攻读硕士学位期间正式发表的学术论文 | 第54-55页 |
| 致谢 | 第55-56页 |
| 附录 | 第56-58页 |