| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-8页 |
| 1 绪论 | 第8-16页 |
| ·三维微结构制作技术的研究现状 | 第8-10页 |
| ·基于UV-LIGA的灰度掩膜技术概述 | 第10-14页 |
| ·基于ObjectARX的AutoCAD二次开发技术 | 第14-15页 |
| ·课题的研究内容 | 第15-16页 |
| 2 灰度掩膜图设计的算法原理 | 第16-31页 |
| ·编码原理 | 第16-17页 |
| ·基于铺路法的灰度掩膜图设计算法 | 第17-29页 |
| ·铺路算法概述 | 第17-19页 |
| ·适用于任意形状图形灰度掩膜图设计的铺路算法 | 第19-29页 |
| ·算法评价方法 | 第29-30页 |
| ·本章小结 | 第30-31页 |
| 3 灰度掩膜图的设计系统 | 第31-40页 |
| ·开发平台 | 第31-32页 |
| ·灰度掩膜图设计系统及其关键功能模块 | 第32-34页 |
| ·灰度掩膜图设计系统界面 | 第34-39页 |
| ·系统设计的基本原则 | 第34页 |
| ·系统界面 | 第34-39页 |
| ·系统参数及运行情况说明 | 第39页 |
| ·本章小结 | 第39-40页 |
| 4 灰度掩膜图设计实例及其分析 | 第40-45页 |
| ·灰度掩膜图设计说明 | 第40页 |
| ·常规形状图形灰度掩膜图设计实例及分析 | 第40-43页 |
| ·任意形状图形灰度掩膜图的设计实例及分析 | 第43-44页 |
| ·本章小结 | 第44-45页 |
| 结论 | 第45-46页 |
| 参考文献 | 第46-48页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第48-49页 |
| 致谢 | 第49-50页 |