用于SEM纳米操作的粘滑型精密定位工作台的研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 第1章 绪论 | 第9-16页 |
| ·课题背景及意义 | 第9-10页 |
| ·国内外相关技术研究现状 | 第10-15页 |
| ·本文主要研究内容 | 第15-16页 |
| 第2章 精密定位工作台的结构设计 | 第16-28页 |
| ·引言 | 第16页 |
| ·精密定位工作台的技术要求及总体方案 | 第16-17页 |
| ·水平精密定位工作台的设计 | 第17-23页 |
| ·水平精密定位工作台的工作原理 | 第17-18页 |
| ·水平精密定位工作台的机构设计 | 第18-21页 |
| ·柔性铰链强度校核 | 第21-23页 |
| ·竖直精密定位工作台的设计 | 第23-27页 |
| ·竖直精密定位工作台的工作原理 | 第23-24页 |
| ·竖直精密定位工作台的机构设计 | 第24-25页 |
| ·柔性铰链强度校核 | 第25-27页 |
| ·本章小结 | 第27-28页 |
| 第3章 精密定位工作台动力学模型的建立 | 第28-37页 |
| ·引言 | 第28页 |
| ·摩擦模型的对比与选取 | 第28-30页 |
| ·水平精密定位工作台动力学模型的建立与仿真 | 第30-33页 |
| ·水平精密定位工作台动力学模型的建立 | 第30-32页 |
| ·水平精密定位工作台动力学模型的仿真 | 第32页 |
| ·模型仿真结果分析 | 第32-33页 |
| ·竖直精密定位工作台动力学模型的建立与仿真 | 第33-36页 |
| ·竖直精密定位工作台动力学模型的建立 | 第33-34页 |
| ·竖直精密定位工作台动力学模型的仿真 | 第34-35页 |
| ·模型仿真结果分析 | 第35-36页 |
| ·本章小结 | 第36-37页 |
| 第4章 压电陶瓷驱动器设计 | 第37-44页 |
| ·引言 | 第37页 |
| ·驱动器的技术要求及总体方案 | 第37-39页 |
| ·器件选择及电路设计 | 第39-41页 |
| ·驱动器的热计算 | 第41-43页 |
| ·本章小结 | 第43-44页 |
| 第5章 精密定位系统实验研究 | 第44-59页 |
| ·引言 | 第44页 |
| ·实验系统搭建 | 第44页 |
| ·驱动器性能测试实验 | 第44-49页 |
| ·静态输出能力测试实验 | 第45-48页 |
| ·全功率响应测试实验 | 第48-49页 |
| ·精密定位工作台测试实验 | 第49-54页 |
| ·水平精密定位工作台测试实验 | 第49-52页 |
| ·竖直精密定位工作台测试实验 | 第52-54页 |
| ·精密定位系统测试实验 | 第54-58页 |
| ·精密定位系统最大速度测试实验 | 第55-56页 |
| ·精密定位系统最大负载测试实验 | 第56-58页 |
| ·本章小结 | 第58-59页 |
| 结论 | 第59-60页 |
| 参考文献 | 第60-64页 |
| 附录1 驱动器电路原理图 | 第64-66页 |
| 致谢 | 第66页 |
