| 中文摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 第一章 绪论 | 第8-11页 |
| 1.1 薄膜技术的应用和发展 | 第8页 |
| 1.2 薄膜特性检测的意义与现状 | 第8-10页 |
| 1.2.1 薄膜生长率的检测 | 第9-10页 |
| 1.2.2 薄膜应力的检测 | 第10页 |
| 1.3 本文的研究工作 | 第10-11页 |
| 第二章 薄膜应力检测的相关理论及方法 | 第11-17页 |
| 2.1 薄膜应力简介 | 第11-12页 |
| 2.2 薄膜应力检测方法介绍 | 第12-16页 |
| 2.2.1 X 射线衍射法 | 第12-13页 |
| 2.2.2 Raman 光谱法 | 第13-14页 |
| 2.2.3 基片变形法 | 第14-16页 |
| 2.3 本章小结 | 第16-17页 |
| 第三章 测绘系统的设计与搭建 | 第17-31页 |
| 3.1 测绘系统的设计与改进 | 第17-20页 |
| 3.2 利用 LabWindows/CVI 编写测绘系统软件 | 第20-28页 |
| 3.2.1 开发环境 | 第21-23页 |
| 3.2.2 仪器 I/O 助手 | 第23-24页 |
| 3.2.3 交叉平台通信 | 第24-26页 |
| 3.2.4 高级科学分析 | 第26-27页 |
| 3.2.5 Windows 风格控件 | 第27-28页 |
| 3.3 多光束薄膜应力测绘系统的搭建 | 第28-30页 |
| 3.3.1 薄膜应力测绘设备的构架 | 第28页 |
| 3.3.2 二维二元相位光栅设计加工 | 第28-29页 |
| 3.3.3 算法及控制程序开发 | 第29页 |
| 3.3.4 多光束薄膜应力测绘系统 | 第29-30页 |
| 3.4 本章小结 | 第30-31页 |
| 第四章 软件开发及应力测绘 | 第31-44页 |
| 4.1 软件设计思路 | 第31-32页 |
| 4.2 图像捕捉 | 第32-34页 |
| 4.3 软件开发 | 第34-35页 |
| 4.4 算法修正 | 第35-37页 |
| 4.5 软件参数调整 | 第37-41页 |
| 4.6 应力检测及绘图 | 第41-43页 |
| 4.7 本章小结 | 第43-44页 |
| 第五章 总结与展望 | 第44-46页 |
| 5.1 测试及对比 | 第44页 |
| 5.2 本文的工作总结 | 第44-45页 |
| 5.3 对研究工作的展望 | 第45-46页 |
| 参考文献 | 第46-48页 |
| 附件A 软件源代码（数据处理部分） | 第48-56页 |
| 致谢 | 第56-57页 |