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一般自动化元件、部件
纳米谐振器结构的加工技术研究
微电子机械系统（MEMS）中介孔硅材料的热学、力学及电学特性研究
微结构平面旋转运动角度测量的研究
基于HART协议的手持器的研究
基于网络的GPIB控制器的设计
超磁致伸缩自感知执行器基础理论与实验研究
屈曲式双稳态微加速度开关的研究
薄膜集成磁件结构拓扑优化与制备工艺研究
控制力矩陀螺控制电路研究与设计
微胶囊的微流体数字化制备技术及配套器件制作工艺研究
MEMS微结构动力学特性研究
MEMS安全系统基本问题研究
基于RTLinux的嵌入式智能充退磁装置的研究
聚合物场流分离生物芯片工艺研究及应用
MEMS粗糙表面接触研究
RF MEMS开关的设计与制作
MEMS力学特性测试及可靠性分析中若干关键问题的研究
微尺度通道内流动与换热特性的数值研究
若干微电子机械系统研制及相关LIGA工艺研究
微机电系统可靠性关键问题研究
基于加速度传感器的电子笔系统的设计
基于机械放大式机构的PZT（微）纳米驱动位移的传感检测与感知研究
RF MEMS开关及其在移相器中的应用研究
反射式光读出非致冷红外成像阵列器件研究
纳机电系统的温度效应研究
静电驱动电容检测微机械陀螺式加速度器的力学分析
可植入式微器件中若干技术的研究
MEMS器件的可靠性研究与测试系统的开发
压电式生物细胞微操作台建模及控制策略研究
复合式MEMS微夹持器研究
液动力对核小体缠绕过程影响的数值模拟研究
自供电汽车轮胎压力报警器压电振子优化设计研究
基于Prandtl-Ishlinskii模型的GMA精密定位研究
MEMS器件深槽侧壁形貌测试方法研究
微流体数字化喷射技术及其在微混合中的应用研究
MEMS金属/电介质光子晶体的强透射特性研究
MEMS中多孔硅的电学与光学特性研究
MEMS薄膜元器件在力—热耦合作用下的性能测试与数值分析
执行器饱和时滞系统的保性能控制：低增益方法
抗磁悬浮转子式微器件的相关技术研究
石英微机械振动陀螺薄膜相关技术研究
用于高场不对称波形离子迁移谱仪的MEMS振簧式静电计研究
基于二元光学的阵列位相环的设计与研究
微机械光开关的设计与制造
MEMS惯性测量单元自动校准算法研究与实现
点面电极系统的微流体驱动机理分析与实验研究
感应局部加热封装技术及其应用研究
基于MEMS技术的红外微光电器件研究
基于MEMS技术的细胞破碎微流控芯片系统研究
采用平板式燃烧器的微型热光电系统的研究
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