| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-13页 |
| ·石英微机械振动陀螺的国内外研究发展动态 | 第8-10页 |
| ·国外研究发展动态 | 第8-9页 |
| ·国内研究发展动态 | 第9页 |
| ·发展趋势 | 第9-10页 |
| ·石英微机械陀螺相关研究在理论和实际应用方面的意义和价值 | 第10-11页 |
| ·本论文的选题依据和研究内容 | 第11-13页 |
| ·选题依据 | 第11页 |
| ·研究内容 | 第11-13页 |
| 第二章 石英微机械陀螺的工作机理及微观理论分析研究 | 第13-22页 |
| ·石英微机械陀螺的工作机理 | 第13-15页 |
| ·石英微机械陀螺的微观理论分析研究 | 第15-22页 |
| ·压电效应 | 第15页 |
| ·石英微机械陀螺振子的电极设置 | 第15-22页 |
| 第三章 石英微机械陀螺的薄膜技术分析研究 | 第22-40页 |
| ·薄膜工艺技术相关理论研究 | 第22-28页 |
| ·石英微机械陀螺振子镀膜的制备工艺 | 第28-40页 |
| ·石英微机械陀螺振子的基片双面镀膜 | 第29-31页 |
| ·石英微机械陀螺振子的微电极侧面镀膜 | 第31-40页 |
| 第四章 石英微机械陀螺振子薄膜均匀性的分析研究 | 第40-47页 |
| ·基本理论 | 第40-41页 |
| ·影响膜厚均匀性的因素及改进措施 | 第41-45页 |
| ·真空度的影响 | 第41-42页 |
| ·基板温度的影响 | 第42页 |
| ·基板与蒸发源相对位置的影响 | 第42-43页 |
| ·基板旋转角度的影响 | 第43-45页 |
| ·实验过程及数据分析 | 第45-47页 |
| 第五章 石英微机械陀螺振子薄膜附着力的分析研究 | 第47-53页 |
| ·薄膜的附着力 | 第47页 |
| ·薄膜的附着机理 | 第47-49页 |
| ·影响薄膜附着力的工艺因素 | 第49-51页 |
| ·基片材料和基片的表面状态 | 第49-50页 |
| ·淀积气氛 | 第50页 |
| ·淀积速率与淀积原子进入基片的角度 | 第50-51页 |
| ·基片温度 | 第51页 |
| ·沉积方法 | 第51页 |
| ·离子束清洗增强衬底表面对薄膜的附着力作用 | 第51页 |
| ·工艺改进方案 | 第51-53页 |
| 第六章 石英微机械陀螺振子膜层结构对器件性能参数的影响 | 第53-57页 |
| ·石英微机械陀螺振子读出端侧面电极情况 | 第53-54页 |
| ·实验过程及数据分析 | 第54-55页 |
| ·实验结论 | 第55-57页 |
| 结论 | 第57-58页 |
| 致谢 | 第58-59页 |
| 参考文献 | 第59页 |
