| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-7页 |
| 第一章 绪论 | 第7-15页 |
| ·引言 | 第7-8页 |
| ·国外的纳米科技进展 | 第7页 |
| ·国内的纳米科技进展 | 第7-8页 |
| ·MEMS研究进展 | 第8-11页 |
| ·国外MEMS研究进展 | 第9-10页 |
| ·国内MEMS研究进展 | 第10-11页 |
| ·纳米接触的研究 | 第11-14页 |
| ·问题提出的背景及研究的意义 | 第11-12页 |
| ·国内外的研究动态 | 第12-14页 |
| ·本文主要目的和主要工作 | 第14-15页 |
| 第二章 MEMS接触失效及相关理论 | 第15-25页 |
| ·接触失效的表现形式及影响因素 | 第15-16页 |
| ·相关的接触理论 | 第16-23页 |
| ·分子动力学方法 | 第17-18页 |
| ·蒙特卡罗模拟（Monte Carlo，MC） | 第18页 |
| ·连续介质的研究方法 | 第18-23页 |
| ·Bradley理论 | 第18-19页 |
| ·JKR理论 | 第19-20页 |
| ·DMT理论 | 第20页 |
| ·Baney-Hui用叠加的方法 | 第20-23页 |
| ·本章小结 | 第23-25页 |
| 第三章 连续介质方法的接触模型及计算 | 第25-31页 |
| ·Hamaker微观连续理论和Lennard-Jones势函数 | 第25-27页 |
| ·Hamaker微观连续理论 | 第25页 |
| ·Lennard-Jones势函数 | 第25-27页 |
| ·几种典型的接触模型 | 第27-30页 |
| ·点球模型 | 第27-28页 |
| ·球-球接触模型 | 第28-30页 |
| ·球-面、点-面模型 | 第30页 |
| ·本章小结 | 第30-31页 |
| 第四章 粗糙表面的纳米接触 | 第31-49页 |
| ·微梁的制备及其表面形貌的分析 | 第31-33页 |
| ·微梁的制备 | 第31-32页 |
| ·微梁的表面形貌分析 | 第32-33页 |
| ·单峰模型及其粘附力的计算 | 第33-37页 |
| ·单峰模型 | 第33-35页 |
| ·单峰模型与光滑表面接触的仿真计算 | 第35-37页 |
| ·粘附力与距离的关系 | 第35-36页 |
| ·误差分析 | 第36-37页 |
| ·粗糙表面与光滑表面的接触 | 第37-47页 |
| ·粗糙表面的物理建模 | 第37-39页 |
| ·粗糙表面的粘附力计算 | 第39-40页 |
| ·粘附力的仿真计算与分析 | 第40-47页 |
| ·粘附力与距离的关系 | 第42-45页 |
| ·粘附力与R的关系 | 第45-47页 |
| ·本章小结 | 第47-49页 |
| 第五章 结论与展望 | 第49-50页 |
| ·本文的主要结论 | 第49页 |
| ·展望 | 第49-50页 |
| 致谢 | 第50-51页 |
| 参考文献 | 第51-58页 |
| 研究成果 | 第58-59页 |
| 附录：粘附力与各参数关系的仿真计算程序 | 第59-64页 |