RF MEMS开关及其在移相器中的应用研究
| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 致谢 | 第7-13页 |
| 第一章 绪论 | 第13-20页 |
| ·RF MEMS 简介 | 第13-14页 |
| ·RF MEMS 开关研究状况 | 第14-17页 |
| ·RF MEMS 开关简介 | 第14页 |
| ·欧姆接触式RF MEMS 开关的研究现状 | 第14-16页 |
| ·电容耦合式RF MEMS 开关的研究现状 | 第16-17页 |
| ·RF MEMS 开关的组合应用 | 第17页 |
| ·RF MEMS 开关在移相器中的研究状况 | 第17-19页 |
| ·DMTL 移相器的研究现状 | 第18页 |
| ·开关线型MEMS 移相器的研究现状 | 第18-19页 |
| ·本论文的主要内容 | 第19-20页 |
| 第二章 RF MEMS 开关工作原理 | 第20-29页 |
| ·RF MEMS 开关的驱动机制 | 第20-23页 |
| ·静电驱动机制开关 | 第20-21页 |
| ·电热驱动机制开关 | 第21-22页 |
| ·电磁驱动机制开关 | 第22页 |
| ·压电驱动机制开关 | 第22-23页 |
| ·形状记忆金属型开关 | 第23页 |
| ·静电驱动机制RF MEMS 开关的优点 | 第23-24页 |
| ·RF MEMS 开关的缺陷 | 第24页 |
| ·RF MEMS 开关的应用领域 | 第24-25页 |
| ·RF MEMS 开关研究面临的主要问题 | 第25-26页 |
| ·RF MEMS 开关参数 | 第26-29页 |
| ·RF MEMS 开关的S 参数 | 第26-27页 |
| ·开关的驱动电压和下拉电压 | 第27页 |
| ·瞬变时间和切换时间 | 第27页 |
| ·开关谐振点频率 | 第27-29页 |
| 第三章 RF MEMS 开关模型 | 第29-45页 |
| ·RF MEMS 开关的力学模型 | 第29-38页 |
| ·固支梁的弹性系数 | 第29-33页 |
| ·低k 梁的弹性系数 | 第33-35页 |
| ·悬臂梁的弹性系数 | 第35-36页 |
| ·MEMS 开关的下拉电压 | 第36-38页 |
| ·RF MEMS 开关的电磁模型 | 第38-45页 |
| ·RF MEMS 开关的电容 | 第38-40页 |
| ·RF MEMS 开关阻抗 | 第40-45页 |
| 第四章 4 位DMTL 移相器的实现 | 第45-58页 |
| ·MEMS 移相器理论 | 第45-46页 |
| ·移相器原理 | 第45页 |
| ·MEMS 移相器的技术指标 | 第45-46页 |
| ·4位DMTL 移相器的设计 | 第46-58页 |
| ·分布式MEMS 传输线移相器模型 | 第46-48页 |
| ·布拉格频率 | 第48-49页 |
| ·波导传输线的选取 | 第49页 |
| ·衬底材料的选择 | 第49-50页 |
| ·分布式移相器的优化设计 | 第50-52页 |
| ·设计步骤 | 第52-53页 |
| ·设计实例 | 第53-58页 |
| 第五章 结论 | 第58-59页 |
| ·论文的主要内容 | 第58页 |
| ·论文的创新点 | 第58页 |
| ·对进一步研究工作的展望 | 第58-59页 |
| 参考文献 | 第59-62页 |
| 攻读硕士期间发表的论文 | 第62-63页 |
