MEMS安全系统基本问题研究
| 摘要 | 第1-4页 |
| ABSTRACT | 第4-5页 |
| 目录 | 第5-8页 |
| 1 绪论 | 第8-18页 |
| ·研究背景 | 第8-9页 |
| ·MEMS技术的特点 | 第9-10页 |
| ·MEMS技术在引信安全装置中的应用 | 第10-12页 |
| ·国内外研究现状和技术发展趋势 | 第12-14页 |
| ·MEMS技术应用于引信安全机构的特点和基本问题 | 第14-16页 |
| ·本文主要研究内容 | 第16-18页 |
| 2 引信MEMS安全机构 | 第18-35页 |
| ·微机电系统及其在引信中的应用 | 第18-19页 |
| ·MEMS安保机构的研究背景 | 第19-20页 |
| ·MEMS安保机构的国内外发展状况 | 第20-25页 |
| ·国内外MEMS引信安全系统的研究状况 | 第20-21页 |
| ·美国典型MEMS安保机构分析 | 第21-25页 |
| ·MEMS引信安全系统设计 | 第25-34页 |
| ·引信安全系统的设计要求 | 第25-26页 |
| ·引信安全系统的构成形式 | 第26-28页 |
| ·引信MEMS错位式安全隔爆装置机构 | 第28-30页 |
| ·MEMS引信安全系统的作用过程 | 第30-31页 |
| ·在引信MEMS错位式安全隔爆装置典型机构分析 | 第31-34页 |
| ·本章小结 | 第34-35页 |
| 3 微尺寸下引信MEMS典型机构设计与分析 | 第35-55页 |
| ·微尺度理论及效应 | 第35-40页 |
| ·研究力学性能及尺寸效应的意义 | 第36-37页 |
| ·力学性能测试方法 | 第37-38页 |
| ·尺寸效应的基本概念 | 第38-39页 |
| ·尺寸效应的研究目标 | 第39-40页 |
| ·几何尺寸效应 | 第40页 |
| ·力的尺寸效应 | 第40页 |
| ·MEMS引信典型机构——微加速度开关 | 第40-47页 |
| ·引信安全系统微加速度开关结构设计 | 第41-43页 |
| ·微加速度开关基本数学模型 | 第43-44页 |
| ·微加速度开关中的空气阻尼的尺度效应 | 第44-47页 |
| ·压膜阻尼 | 第45-46页 |
| ·滑膜阻尼 | 第46-47页 |
| ·微开关的微摩擦仿真 | 第47-54页 |
| ·微摩擦简介 | 第48页 |
| ·摩擦系数的影响因素及其控制 | 第48-50页 |
| ·微开关微摩擦仿真分析 | 第50-54页 |
| ·本章小结 | 第54-55页 |
| 4 微加速度开关在高冲击载荷作用下的失效分析 | 第55-83页 |
| ·MEMS的失效模式、失效机理和失效分析 | 第55-58页 |
| ·失效问题研究的意义 | 第55-56页 |
| ·MEMS可靠性分析方法 | 第56页 |
| ·基本单元结构的失效分析方法 | 第56-57页 |
| ·微机械系统中的失效模式 | 第57-58页 |
| ·高G值折叠梁式微加速度开关 | 第58-63页 |
| ·高G值折叠梁式微加速度开关设计 | 第58-60页 |
| ·高G值折叠梁式微加速度开关计算 | 第60-63页 |
| ·微结构中典型的失效分析 | 第63-72页 |
| ·微梁断裂—微结构中典型的失效模式 | 第63-72页 |
| ·微桥式梁弯曲断裂特性分析 | 第64-68页 |
| ·脆性材料的理想化断裂 | 第64-65页 |
| ·Griffith断裂理论 | 第65-66页 |
| ·Griffith理论修正 | 第66-67页 |
| ·微梁试件的断面 | 第67页 |
| ·单晶硅微梁断裂的应变设计 | 第67-68页 |
| ·粘附现象—微结构中典型的失效模式 | 第68-72页 |
| ·粘附现象 | 第68-69页 |
| ·微加速度开关粘附分析 | 第69-72页 |
| ·微加速度开关抗高过载能力瞬态动力学分析和仿真 | 第72-82页 |
| ·微加速度开关抗高过载能力瞬态动力学分析 | 第72-76页 |
| ·微加速度开关仿真 | 第76-82页 |
| ·本章小结 | 第82-83页 |
| 5 微加速度开关动态性能冲击实验 | 第83-88页 |
| ·实验目的 | 第83页 |
| ·马希特锤击实验介绍 | 第83-84页 |
| ·实验方法 | 第84-85页 |
| ·实验结果及分析 | 第85-88页 |
| 6 全文总结及展望 | 第88-90页 |
| ·本文完成的主要工作 | 第88页 |
| ·本文创新点 | 第88-89页 |
| ·未来研究工作展望 | 第89-90页 |
| 致谢 | 第90-91页 |
| 参考文献 | 第91-95页 |
