| 摘要 | 第1-4页 |
| ABSTRACT | 第4-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-30页 |
| ·微机电系统测试技术 | 第9-11页 |
| ·微机电系统力学特性测试技术的研究现状 | 第11-20页 |
| ·纳米硬度法 | 第12-13页 |
| ·弯曲法 | 第13-16页 |
| ·拉伸法 | 第16-18页 |
| ·旋转法 | 第18-19页 |
| ·扭转法 | 第19-20页 |
| ·微机电系统可靠性测试技术的研究现状 | 第20-28页 |
| ·MEMS 器件的失效模式及机理 | 第20-23页 |
| ·MEMS 器件的环境测试 | 第23-27页 |
| ·MEMS 可靠性分析中的模拟仿真方法 | 第27-28页 |
| ·课题的选题背景及主要工作 | 第28-30页 |
| 第二章 基于相移显微干涉的MEMS 器件表面轮廓测量 | 第30-60页 |
| ·基于相移显微干涉的表面轮廓测量 | 第30-37页 |
| ·相移干涉法测量表面轮廓的基本原理 | 第31-34页 |
| ·相移干涉法测量表面轮廓的实验系统 | 第34-37页 |
| ·相位解包裹方法的研究 | 第37-52页 |
| ·相位解包裹的原理 | 第37-41页 |
| ·常用的相位解包裹方法 | 第41-45页 |
| ·基于模板的相位解包裹方法 | 第45-52页 |
| ·表面轮廓测量中倾斜误差的补偿方法 | 第52-59页 |
| ·倾斜误差补偿的必要性 | 第52-54页 |
| ·调平基准面的确定 | 第54-55页 |
| ·三维轮廓信息的重构 | 第55-59页 |
| ·本章小结 | 第59-60页 |
| 第三章 基于有限差分和弯曲量测量的MEMS 器件力学特性测试 | 第60-76页 |
| ·测试原理 | 第60-61页 |
| ·有限差分法的应用 | 第61-71页 |
| ·有限差分法 | 第61-63页 |
| ·未加载的微悬臂梁的有限差分分析 | 第63-67页 |
| ·静电加载的微悬臂梁的有限差分分析 | 第67-71页 |
| ·微梁的弯曲量测量及力学特性参数的提取 | 第71-73页 |
| ·拟牛顿最优化法的应用 | 第73-75页 |
| ·本章小结 | 第75-76页 |
| 第四章 MEMS 器件力学特性测试实验及结果分析 | 第76-94页 |
| ·测试样品的加工制备 | 第76-78页 |
| ·探针台的设计 | 第78-80页 |
| ·光学系统的标定 | 第80-82页 |
| ·测试实验及结果 | 第82-91页 |
| ·实验步骤 | 第82-83页 |
| ·曲率的测量结果 | 第83-87页 |
| ·杨氏模量的测量结果 | 第87-89页 |
| ·应力梯度的测量结果 | 第89-91页 |
| ·实验结果分析与讨论 | 第91-93页 |
| ·本章小结 | 第93-94页 |
| 第五章 MEMS 器件的振动和冲击理论及其仿真分析 | 第94-117页 |
| ·微悬臂梁的振动理论分析 | 第94-109页 |
| ·微悬臂梁的横向振动方程 | 第94-96页 |
| ·微悬臂梁的自振频率和振型 | 第96-101页 |
| ·振型的正交性 | 第101-102页 |
| ·基于模态叠加法的微悬臂梁振动响应 | 第102-107页 |
| ·微悬臂梁的冲击响应 | 第107-109页 |
| ·微悬臂梁的振动冲击仿真 | 第109-116页 |
| ·微悬臂梁的模态分析结果 | 第110-111页 |
| ·微悬臂梁的谐响应分析结果 | 第111-113页 |
| ·微悬臂梁的瞬态动力学分析结果 | 第113-116页 |
| ·本章小结 | 第116-117页 |
| 第六章 MEMS 器件的振动与冲击测试实验及结果分析 | 第117-128页 |
| ·微悬臂梁的振动测试 | 第117-121页 |
| ·振动测试的方法及装置 | 第117-118页 |
| ·振动测试的结果及分析 | 第118-121页 |
| ·微悬臂梁的冲击测试 | 第121-127页 |
| ·冲击测试的方法及装置 | 第121-122页 |
| ·冲击测试的结果及分析 | 第122-127页 |
| ·本章小结 | 第127-128页 |
| 第七章 总结与展望 | 第128-131页 |
| ·论文完成的主要工作 | 第128-129页 |
| ·论文的创新点 | 第129页 |
| ·工作展望 | 第129-131页 |
| 参考文献 | 第131-139页 |
| 发表论文和申请的专利 | 第139-141页 |
| 致谢 | 第141页 |
