静电驱动电容检测微机械陀螺式加速度器的力学分析
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 目录 | 第6-8页 |
| 图目录 | 第8-11页 |
| 表目录 | 第11-12页 |
| 第一章 绪论 | 第12-28页 |
| ·陀螺式加速度器概述 | 第12-14页 |
| ·研究意义 | 第14-16页 |
| ·发展历史和研究现状 | 第16-26页 |
| ·微加速度器发展历史和研究现状 | 第16-22页 |
| ·微陀螺发展历史和研究现状 | 第22-26页 |
| ·小结 | 第26页 |
| ·本课题研究的主要内容 | 第26-28页 |
| 第二章 摆式陀螺加速度器微型化转换 | 第28-45页 |
| ·摆式陀螺加速度器原理介绍 | 第28-31页 |
| ·PIGA到POGA的转换 | 第31-40页 |
| ·单自由度陀螺(RDM)的转换 | 第32-35页 |
| ·检测质量块的转换 | 第35-36页 |
| ·力矩求和组件(TSM)的转换 | 第36-37页 |
| ·伺服驱动组件(SDM)的转换 | 第37-39页 |
| ·支承框架和基础 | 第39-40页 |
| ·POGA各组件的装配 | 第40-44页 |
| ·第一层装配图 | 第40-41页 |
| ·第二层装配图 | 第41-42页 |
| ·第三层装配图 | 第42-43页 |
| ·第四层装配图 | 第43-44页 |
| ·本章小结 | 第44-45页 |
| 第三章 微陀螺加速度器各组件运动原理和方程 | 第45-56页 |
| ·微陀螺(RDM)工作原理介绍 | 第45-49页 |
| ·平板电容的检测和驱动 | 第49-52页 |
| ·POGA的传感器方程 | 第52-53页 |
| ·本章小结 | 第53-56页 |
| 第四章 POGA结构的力学分析和设计 | 第56-74页 |
| ·梁结构的力学分析方法 | 第56-62页 |
| ·弯曲导向梁的受力分析 | 第58-61页 |
| ·扭转导向梁的受力分析 | 第61-62页 |
| ·简单POGA的结构设计 | 第62-66页 |
| ·RDM结构设计 | 第62-63页 |
| ·垫片和mass的设计 | 第63-64页 |
| ·TSM-SDM结构设计 | 第64-65页 |
| ·Bass结构设计 | 第65-66页 |
| ·POGA的组装和分解 | 第66页 |
| ·POGA模态分析 | 第66-73页 |
| ·本章小结 | 第73-74页 |
| 第五章 展望和总结 | 第74-77页 |
| ·对于POGA的展望 | 第74-75页 |
| ·总结 | 第75-77页 |
| 参考文献 | 第77-81页 |
| 致谢 | 第81页 |
