纳米谐振器结构的加工技术研究
| 摘要 | 第1-7页 |
| Abstract | 第7-8页 |
| 第1章 绪论 | 第8-14页 |
| ·微机电系统和纳机电系统 | 第8-9页 |
| ·微机电系统 | 第8页 |
| ·纳机电系统 | 第8-9页 |
| ·NEMS谐振器 | 第9-10页 |
| ·纳米梁的制备方法概述 | 第10-11页 |
| ·NEMS谐振器的测试方法研究 | 第11-12页 |
| ·本论文的主要内容 | 第12-14页 |
| 第2章 在(100)SOI硅片上制作纳米梁 | 第14-42页 |
| ·纳米梁的设计 | 第14-22页 |
| ·基本工艺流程 | 第14-15页 |
| ·厚度控制以及氧化工艺研究 | 第15-17页 |
| ·释放技术研究 | 第17-22页 |
| ·纳米梁的制作流程和结果 | 第22-29页 |
| ·纳米梁的制作流程 | 第22-24页 |
| ·梁的厚度均匀性的研究 | 第24-29页 |
| ·纳米谐振结构的制作和测试 | 第29-33页 |
| ·纳米谐振结构的制作流程 | 第29-31页 |
| ·谐振结构的测试 | 第31-33页 |
| ·一种新的纳米线制作方法研究 | 第33-40页 |
| ·工艺流程设计 | 第34-38页 |
| ·可行性实验 | 第38-39页 |
| ·纳米线制作实验 | 第39-40页 |
| ·本章小结 | 第40-42页 |
| 第3章 普通(111)硅片上制作纳米梁 | 第42-59页 |
| ·纳米梁的设计 | 第42-51页 |
| ·基本工艺流程 | 第42-44页 |
| ·整平腐蚀研究 | 第44-46页 |
| ·腐蚀槽设计 | 第46-51页 |
| ·纳米梁的制作 | 第51-54页 |
| ·纳米谐振结构的制作和测试 | 第54-58页 |
| ·谐振结构的制作 | 第54-57页 |
| ·谐振结构的测试 | 第57-58页 |
| ·本章小结 | 第58-59页 |
| 第4章 (110)SOI硅片上制作纳米梁 | 第59-63页 |
| ·纳米梁的设计 | 第59-61页 |
| ·基本工艺流程 | 第59-60页 |
| ·找晶向实验 | 第60页 |
| ·宽度控制实验 | 第60-61页 |
| ·纳米梁的制作 | 第61-62页 |
| ·本章小结 | 第62-63页 |
| 第5章 总结和展望 | 第63-65页 |
| ·本论文工作总结 | 第63-64页 |
| ·进一步的工作展望 | 第64-65页 |
| 参考文献 | 第65-67页 |
| 致谢 | 第67-68页 |
| 作者简介 | 第68页 |
| 硕士期间发表论文 | 第68-69页 |
