| 摘要 | 第1-4页 |
| ABSTRACT | 第4-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-15页 |
| ·微机电系统发展状况 | 第8-10页 |
| ·MEMS 动态测试技术 | 第10-12页 |
| ·MEMS 角度测量各方法的研究现状和发展趋势 | 第12-13页 |
| ·本课题研究的主要目的和内容 | 第13-15页 |
| 第二章 相位相关及Radon 变换技术的角度测量 | 第15-30页 |
| ·相位相关及Radon 变换技术角度测量原理 | 第15-20页 |
| ·相位相关的基本原理 | 第15-17页 |
| ·Radon 变换的基本原理 | 第17-19页 |
| ·相位相关及Radon 变换技术的角度测量的原理 | 第19-20页 |
| ·相位相关及Radon 变换技术的角度测量的关键技术的研究 | 第20-27页 |
| ·离散拉顿变换（Discrete Radon Transform） | 第20-25页 |
| ·数字相关法 | 第25-27页 |
| ·相位相关及Radon 变换技术角度测量的研究和实现 | 第27-29页 |
| ·离散Radon 变换的实现 | 第27-28页 |
| ·角度测量的实现 | 第28-29页 |
| ·小结 | 第29-30页 |
| 第三章 基于Hough 变换及边缘直线提取技术的角度测量 | 第30-49页 |
| ·基于Hough 变换及边缘直线提取技术的角度测量原理 | 第30-38页 |
| ·Hough 变换的基本概念 | 第31-32页 |
| ·边缘检测及边缘提取技术 | 第32-38页 |
| ·基于Hough 变换及边缘直线提取技术角度测量的关键技术 | 第38-44页 |
| ·亚像素边缘估计 | 第39-41页 |
| ·广义Hough 变换及其改进 | 第41-44页 |
| ·Hough 变换及边缘直线提取技术的角度测量的实现和研究 | 第44-48页 |
| ·角度测量的条件 | 第44页 |
| ·角度测量的算法实现 | 第44-48页 |
| ·小结 | 第48-49页 |
| 第四章 基于区域质心不变性技术的角度测量 | 第49-56页 |
| ·基于区域质心不变性技术的角度测量的原理 | 第49-52页 |
| ·旋转测量原理 | 第49-50页 |
| ·传统测量角度方法及其缺点 | 第50-51页 |
| ·算法的改进 | 第51-52页 |
| ·基于区域质心不变性技术的角度测量的研究及实现 | 第52-54页 |
| ·小结 | 第54-56页 |
| 第五章 MEMS 角度测量的精度分析及实验研究 | 第56-69页 |
| ·MEMS 平面旋转运动测试 | 第56-67页 |
| ·相位相关与Radon 变换技术的角度测量 | 第58-59页 |
| ·基于Hough 变换及边缘直线提取技术的角度测量 | 第59-62页 |
| ·基于区域质心不变性技术的角度测量 | 第62-67页 |
| ·测试误差分析 | 第67-69页 |
| ·相位相关与Radon 变换技术角度测量的误差分析 | 第67页 |
| ·基于Hough 变换及边缘直线提取技术角度测量误差分析 | 第67-68页 |
| ·区域质心不变性技术角度测量的误差分析 | 第68-69页 |
| 第六章 总结与展望 | 第69-71页 |
| 参考文献 | 第71-75页 |
| 科研项目 | 第75-76页 |
| 致谢 | 第76页 |
