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控制阀流量实验台架建模
MEMS结构材料的微拉伸系统测试方法与应用研究
三维微电极阵列的研究及其应用
反磁悬浮微马达研究
柔顺机构双稳态电热微驱动器技术研究
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聚合物基（SU-8）面外运动电热微驱动器
新型复合结构电热微驱动器
MEMS微针制备技术及其工艺研究
Fabrication Simulation of 3D C-MEMES/NEMS for Biological Sensing and Manipulation
基于LIGA-like工艺的柔性MEMS微电极加工技术研究
双电层影响下的微通道分层流动及其稳定性研究
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微/纳尺度接触行为的多尺度模拟研究
硅微通道结构释放及整形技术研究
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MEMS轻型通信设备的射频开关研究与应用
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镀金触点的微动磨损机理与测试
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乳癌诊断电子鼻及应用
静电梳齿结构的MEMS分析和优化设计
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压电纤维执行器驱动的智能结构的数值仿真与实验研究
基于MPS430微处理器的电子推拉力计的设计与实现
基于MEMS技术的微阀和微泵的设计与研制
Casimir力测量扭秤极板加工工艺研究
高性能MEMS射频无源器件与三维硅微机械加工技术
硅微机械加速度开关技术研究
免疫磁珠微流控分析系统的构建和应用研究
MEMS三维堆叠模块化封装研究
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