复合式MEMS微夹持器研究
| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-8页 |
| 第1章 绪论 | 第8-17页 |
| ·研究的目的和意义 | 第8页 |
| ·国内外发展现状 | 第8-15页 |
| ·探针式微作业工具 | 第9-10页 |
| ·真空吸附式作业工具 | 第10-11页 |
| ·微夹持器 | 第11-15页 |
| ·课题来源 | 第15页 |
| ·课题的主要研究内容 | 第15-17页 |
| 第2章 基于复合驱动的微构件操作方法研究 | 第17-27页 |
| ·引言 | 第17页 |
| ·微操作中的尺度效应 | 第17-22页 |
| ·粘着现象分析 | 第17-18页 |
| ·微操作中粘着力 | 第18-20页 |
| ·粘着力的减弱与克服 | 第20-22页 |
| ·尺度效应下作业工具设计原则 | 第22页 |
| ·复合驱动微操作方法 | 第22-26页 |
| ·总体方案设计 | 第22-23页 |
| ·微夹持器操作力学模型建立 | 第23-25页 |
| ·复合式微夹持器操作过程分析 | 第25-26页 |
| ·本章小结 | 第26-27页 |
| 第3章 复合式MEMS 微夹持器设计与研制 | 第27-42页 |
| ·引言 | 第27页 |
| ·微夹持器总体结构设计 | 第27-28页 |
| ·复合式微夹持器静电驱动部分设计 | 第28-36页 |
| ·静电驱动理论分析 | 第28-33页 |
| ·静电驱动部分结构设计 | 第33-35页 |
| ·复合式微夹持器有限元分析 | 第35-36页 |
| ·气动吸放部分设计 | 第36-39页 |
| ·气路结构设计 | 第36-37页 |
| ·微通道内气体微流动特性研究 | 第37-39页 |
| ·复合式MEMS 微夹持器工艺设计 | 第39-41页 |
| ·本章小结 | 第41-42页 |
| 第4章 复合式MEMS 微夹持器驱动控制系统 | 第42-51页 |
| ·引言 | 第42页 |
| ·静电驱动控制系统 | 第42-47页 |
| ·静电驱动控制系统结构及工作原理 | 第42-43页 |
| ·控制芯片选择及DAC 设计 | 第43页 |
| ·DC/DC 变换器设计 | 第43-45页 |
| ·信号采集及反馈电路设计 | 第45-46页 |
| ·静电驱动控制系统性能测试 | 第46-47页 |
| ·气动吸放控制系统设计 | 第47-50页 |
| ·气动吸放控制系统构成 | 第47页 |
| ·气动单元设计 | 第47-49页 |
| ·气动吸放控制单元设计 | 第49页 |
| ·气动吸放控制系统性能测试 | 第49-50页 |
| ·本章小结 | 第50-51页 |
| 第5章 实验研究 | 第51-60页 |
| ·引言 | 第51页 |
| ·微夹持器性能测试 | 第51-53页 |
| ·实验系统的建立 | 第53-54页 |
| ·复合式MEMS 微夹持器实验研究 | 第54-59页 |
| ·拾取实验 | 第54-56页 |
| ·释放试验 | 第56-59页 |
| ·复合式MEMS 微夹持器实验结果分析 | 第59页 |
| ·本章小结 | 第59-60页 |
| 结论 | 第60-61页 |
| 参考文献 | 第61-65页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第65-67页 |
| 致谢 | 第67页 |
