| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-11页 |
| 第一章 绪论 | 第11-21页 |
| ·（微）纳米科学的发展趋势与研究的意义 | 第11-12页 |
| ·压电陶瓷驱动器的国内外研究进展 | 第12-15页 |
| ·压电陶瓷非线性及迟滞机理研究现状 | 第12-13页 |
| ·压电陶瓷驱动器非线性建模研究现状 | 第13-14页 |
| ·关于压电陶瓷驱动器控制方法的研究 | 第14-15页 |
| ·压电陶瓷驱动特性以及目前的检测方式 | 第15-19页 |
| ·压电陶瓷驱动力、驱动位移的基本特性 | 第16-18页 |
| ·目前应用于微位移检测的传感器的相关研究现状 | 第18-19页 |
| ·选题背景和章节安排 | 第19-21页 |
| ·选题背景及意义 | 第19-20页 |
| ·章节安排 | 第20-21页 |
| 第二章 基于柔性铰链的机械放大式（微）纳米位移传感器的概念设计与工作原理 | 第21-33页 |
| ·机械放大式传感器结构的概念设计 | 第21-23页 |
| ·传感器外形结构的设计要求 | 第21页 |
| ·传感器的工作原理以及机械结构放大比 | 第21-23页 |
| ·柔性铰链的特点及其应用 | 第23-24页 |
| ·柔性铰链的特点 | 第23-24页 |
| ·目前柔性铰链的用途 | 第24页 |
| ·基于柔性铰链的机械位移放大原理 | 第24-26页 |
| ·柔性铰链参数的确定 | 第26-29页 |
| ·单轴柔性铰链参数计算 | 第26-27页 |
| ·单轴柔性铰链的简化计算 | 第27-29页 |
| ·基于柔性铰链的机械放大式微位移传感器的提出 | 第29-30页 |
| ·机械放大式（微）纳米位移传感器的工作原理 | 第30-31页 |
| ·机械放大式（微）纳米位移传感器的材料选择 | 第31-32页 |
| ·本章小结 | 第32-33页 |
| 第三章 机械放大式微纳米位移传感器的数学模型解析 | 第33-42页 |
| ·传感器原始数学模型的机械放大比计算 | 第33-36页 |
| ·传感器精确修正数学模型的机械放大比计算 | 第36-41页 |
| ·杆件PQ 的模型分析 | 第36-37页 |
| ·杆件BQ 的模型分析 | 第37页 |
| ·杆件AV 的模型分析 | 第37-38页 |
| ·杆件EC 的模型分析 | 第38页 |
| ·杆件DF 的模型分析 | 第38-39页 |
| ·杆件FG 的模型分析 | 第39页 |
| ·模型方程分析 | 第39-41页 |
| ·本章小结 | 第41-42页 |
| 第四章 机械放大式微纳米位移传感器的结构设计、有限元分析及其实验测试结果 | 第42-66页 |
| ·机械放大式微纳米位移传感器的设计 | 第42-45页 |
| ·第一代传感器的结构设计 | 第42页 |
| ·第二代传感器的结构设计 | 第42-43页 |
| ·第三代传感器的结构设计 | 第43-45页 |
| ·传感器的有限元分析方法 | 第45-46页 |
| ·有限单元法结构分析原理及应用 | 第45页 |
| ·应用有限元法的求解步骤 | 第45-46页 |
| ·第一代传感器的有限元分析 | 第46-50页 |
| ·传感器的有限元分析的模型建立 | 第46-48页 |
| ·传感器贴片处的厚度和位置的确定 | 第48-49页 |
| ·传感器的模态分析 | 第49-50页 |
| ·第二、三代传感器的有限元分析 | 第50-55页 |
| ·第二代传感器的有限元分析的模型建立与仿真结果 | 第50-53页 |
| ·第三代传感器的有限元分析的模型建立与仿真结果 | 第53-55页 |
| ·传感器的数据采集、处理硬件设计 | 第55页 |
| ·传感器的力学标定试验设计以及实验结果 | 第55-60页 |
| ·力学标定方案和标定装置 | 第55-56页 |
| ·静态力学标定实验 | 第56-58页 |
| ·动态力学标定实验 | 第58-60页 |
| ·传感器的位移输入标定试验设计以及实验结果 | 第60-65页 |
| ·标定实验平台描述 | 第60页 |
| ·第一代传感器位移标定实验结果 | 第60-62页 |
| ·第一代传感器实验标定结果分析 | 第62页 |
| ·第二代传感器实验标定结果及分析 | 第62-65页 |
| ·第二代传感器与第一代传感器的实验结果比较 | 第65页 |
| ·本章小结 | 第65-66页 |
| 第五章 工作总结和展望 | 第66-68页 |
| ·工作总结 | 第66页 |
| ·工作展望 | 第66-68页 |
| 参考文献 | 第68-72页 |
| 硕士期间的主要工作及成果 | 第72-73页 |
| 致谢 | 第73页 |