| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 目录 | 第7-9页 |
| 注释表 | 第9-10页 |
| 1 绪论 | 第10-16页 |
| ·引言 | 第10-11页 |
| ·MEMS的特点及其应用 | 第11-13页 |
| ·MEMS的特点 | 第11-12页 |
| ·MEMS的应用 | 第12-13页 |
| ·MEMS微系统的力学特征 | 第13-14页 |
| ·MEMS动力学问题及其研究意义 | 第14页 |
| ·本文的内容安排 | 第14-16页 |
| 2 MEMS微结构的动力学分析 | 第16-35页 |
| ·引言 | 第16页 |
| ·PZT激励下微悬臂梁动力学方程的建立和求解 | 第16-32页 |
| ·PZT激励下微悬臂梁力学模型 | 第16-18页 |
| ·空气阻尼 | 第18-21页 |
| ·PZT激励下考虑空气阻尼的微悬臂梁动力学方程的建立 | 第21-22页 |
| ·PZT激励下考虑空气阻尼的微悬臂梁动力学方程的求解 | 第22-32页 |
| ·超声波激励下微悬臂梁动力学方程的建立和求解 | 第32-34页 |
| ·超声波激励下微悬臂梁的力学模型 | 第33页 |
| ·超声波激励下考虑空气阻尼微悬臂梁动力学方程的建立 | 第33页 |
| ·超声波激励下微悬臂梁动力学方程的求解 | 第33-34页 |
| ·本章小结 | 第34-35页 |
| 3 MEMS微结构的尺度效应 | 第35-45页 |
| ·尺度效应 | 第35-36页 |
| ·应变梯度理论 | 第36-38页 |
| ·COSSERAT理论 | 第38-40页 |
| ·PZT激励下考虑尺度效应的微悬臂梁动力学方程的建立和求解 | 第40-43页 |
| ·PZT激励下考虑尺度效应的微悬臂梁动力学方程的建立 | 第40-42页 |
| ·PZT激励下考虑尺度效应的动力学方程的求解 | 第42-43页 |
| ·超声波激励下考虑尺度效应的微悬臂梁动力学方程的建立和求解 | 第43-44页 |
| ·本章小结 | 第44-45页 |
| 4 动力学仿真 | 第45-60页 |
| ·PZT激励下数值仿真实例 | 第45-52页 |
| ·空气阻尼对微悬臂梁动态特性的影响 | 第46-49页 |
| ·尺度效应对微悬臂梁动态特性的影响 | 第49-52页 |
| ·超声波激励下数值仿真实例 | 第52-58页 |
| ·空气阻尼对微悬臂梁动态特性的影响 | 第53-56页 |
| ·尺度效应对微悬臂梁动态特性的影响 | 第56-58页 |
| ·本章小结 | 第58-60页 |
| 5 全文总结 | 第60-61页 |
| 致谢 | 第61-62页 |
| 参考文献 | 第62-65页 |
