微机械光开关的设计与制造

摘要	第1-5页
ABSTRACT	第5-7页
第一章 绪论	第7-12页
·研究光开关的意义	第7页
·光开关的现状	第7-10页
·光开关的分类与现状	第7-9页
·光开关的应用及前景分析	第9-10页
·本论文的研究目的和研究内容	第10-12页
第二章 光开关简介	第12-15页
·光开关器件的主要性能参数	第12-13页
·本人接触的几种机械式光开关	第13-15页
第三章 结构设计与原理	第15-35页
·结构设计与考虑	第15-18页
·光开关的光束耦合过程及其影响因素	第15-17页
·MOMS光开关的设计考虑和光学原理	第17-18页
·各光电元件设计选材与分析	第18-23页
·器件最终结构	第23页
·光路模拟和误差分析	第23-35页
·光路模拟和误差	第23-25页
·敏感性和误差分析	第25-35页
第四章 工艺设计与制造	第35-42页
·工艺流程设计	第35页
·有关MOMS光开关的激光焊接工艺	第35-40页
·MOMS光开关的激光焊接设备	第35-37页
·自动调光与激光焊接	第37-40页
·密封封装工艺	第40-42页
第五章 特性测试与认证	第42-48页
·光学与电学性能的测试	第42-43页
·光开关的驱动和状态识别	第42页
·重复性测试	第42-43页
·开关速度测试	第43页
·MOMS光开关的产品性能	第43-46页
·可靠性试验	第46-48页
第六章 总结	第48-50页
参考文献	第50页