| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-11页 |
| 1 绪论 | 第11-28页 |
| ·MEMS技术简介 | 第11-16页 |
| ·光子晶体基本概念 | 第16-18页 |
| ·多波段成像系统 | 第18-19页 |
| ·窄带红外热发射光源 | 第19-26页 |
| ·本文研究内容以及论文安排 | 第26-28页 |
| 2 可见/红外双波段微滤波器阵列设计与制作 | 第28-42页 |
| ·光学薄膜分析传输矩阵方法 | 第28-31页 |
| ·微型滤光片阵列的设计 | 第31-34页 |
| ·微滤光片阵列制作 | 第34-37页 |
| ·实验结果与分析 | 第37-40页 |
| ·小结 | 第40-42页 |
| 3 基于一维光子晶体和一维金属/介质/金属光栅窄带红外光源 | 第42-61页 |
| ·基于一维光子晶体发射源设计 | 第42-55页 |
| ·基于一维金属/介质/金属光栅结构的双波长窄带红外发射光源 | 第55-59页 |
| ·小结 | 第59-61页 |
| 4 基于类似微带天线结构的窄带红外发射光源理论分析与设计 | 第61-79页 |
| ·圆形微带天线结构窄带红外发射光源 | 第61-72页 |
| ·矩形微带天线结构窄带红外发射光源 | 第72-78页 |
| ·小结 | 第78-79页 |
| 5 基于MEMS技术的微加热器设计与仿真 | 第79-92页 |
| ·一般微加热器设计 | 第79-86页 |
| ·低热应变MEMS微加热器设计 | 第86-91页 |
| ·小结 | 第91-92页 |
| 6 窄带红外发射光源的制作 | 第92-115页 |
| ·窄带红外发射光源需要的基本工艺简介 | 第92-99页 |
| ·窄带红外发射光源制作工艺流程 | 第99-109页 |
| ·窄带红外光源的封装与光学性能测试 | 第109-114页 |
| ·小结 | 第114-115页 |
| 7 总结与展望 | 第115-117页 |
| 致谢 | 第117-118页 |
| 参考文献 | 第118-130页 |
| 附录1 攻读学位期间发表和投稿的学术论文目录 | 第130页 |
