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一般自动化元件、部件
静电微器件的模型自由度缩减方法研究
MEMS微结构动力学性能研究
微倾斜悬臂梁在振动冲击载荷下的可靠性分析
压电微悬臂梁的动态特性测试
仿生皮纳升高通量进样系统设计及制作
基于GaAs HEMT嵌入式悬臂梁—质量块结构的力敏特性研究
基于双稳态的MEMS微开关设计
梳齿式MEMS光开关的分析与改进
以水银为介质的微加速度开关理论分析
MEMS加速度计前端放大器设计及系统建模与仿真
面向微型光谱仪的MOEMS光栅光调制器研究
基于光学干涉相位检测的MEMS陀螺信号读出技术研究
考虑漏电容的平板式微执行器Pull-in机理分析
硅微陀螺读出电路低噪声设计
微流控系统中电致对流机理分析及实验研究
用于气体测量的压电微悬臂梁力学建模与实验研究
基于Σ△原理的MEMS陀螺高精度模数转换技术
基于碳纳米螺旋的微气泡发生器的制备及性能研究
自组装微镜面的有限元分析和制作
振动环型MEMS陀螺仪的研究与相关设计
基于MEMS的抗磁微操纵研究
微结构掩膜电铸均匀性研究
面向精化的表面微加工MEMS几何和工艺建模研究
基于电磁效应的振动源能量获取MEMS微电源设计
MEMS-IMU误差分析补偿与实验研究
五层玻璃与铝静电键合机理及应力数值模拟
电子设备高温环境热控制技术研究—材料及结构仿真
高Q光学环形微腔MEMS加工工艺及热处理研究
考虑漏磁效应的扭转式磁微执行器Pull-in参数研究
静电微执行器的Pull-in特性分析
动态下MEMS酒杯式谐振器性能研究
基于相变控制的微流体流量分配方法研究
聚合物微结构超声波压印工艺研究
静电刚度谐振式微加速度计相关技术研究
MEMS微结构功能特征分析、评定关键技术的研究
MEMS微结构几何特征提取与评定的方法
平板式微热光电系统能量转换过程的研究
硅和石墨烯材料纳机电系统的机电耦合特性研究
基于分形粗糙表面的MEMS摩擦学研究
微针阵列干电极的设计、制作及应用
电磁力扰动作用下微管道中液体流动与混合的特性研究
射频MEMS可重构单片电路研究
微结构力学性能模型及可靠性分析
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