| 摘要 | 第4-5页 |
| ABSTRACT | 第5页 |
| 缩略词 | 第14-15页 |
| 第一章 绪论 | 第15-23页 |
| 1.1 太阳能电池硅片应用需求背景 | 第15-16页 |
| 1.2 传统硅片切割技术的概况 | 第16-19页 |
| 1.3 电火花多线切割技术研究现状 | 第19-21页 |
| 1.4 课题来源与主要研究内容 | 第21-23页 |
| 第二章 电火花多线切割机床运丝系统设计 | 第23-35页 |
| 2.1 电火花多线切割机床运丝系统 | 第23-27页 |
| 2.1.1 电火花线切割快走丝结构概述 | 第23-24页 |
| 2.1.2 电火花多线切割运丝系统原理设计 | 第24-26页 |
| 2.1.3 电火花多线切割运丝装置总体方案设计 | 第26-27页 |
| 2.2 电火花多线切割运丝装置主要零部件设计 | 第27-34页 |
| 2.2.1 多线储丝筒旋转组合件设计选择 | 第27-29页 |
| 2.2.2 多线运丝机构进电与断丝保护设计 | 第29-33页 |
| 2.2.3 平行线网可调距主导轮设计 | 第33-34页 |
| 2.3 本章小结 | 第34-35页 |
| 第三章 电火花多线切割机床控制系统设计 | 第35-44页 |
| 3.1 电火花多线切割控制系统总体方案设计 | 第35-37页 |
| 3.1.1 主运动控制系统选型与介绍 | 第35-36页 |
| 3.1.2 辅助控制系统选型与设计 | 第36-37页 |
| 3.2 电火花多线切割机床断丝保护设计 | 第37-42页 |
| 3.2.1 断丝保护原理 | 第38-41页 |
| 3.2.2 现有断丝保护方法对比 | 第41-42页 |
| 3.3 双导轮式断丝保护法 | 第42-43页 |
| 3.4 本章小结 | 第43-44页 |
| 第四章 电火花多线切割高频脉冲电源硬件设计 | 第44-57页 |
| 4.1 典型脉冲电源 | 第44-45页 |
| 4.1.1 RC脉冲电源 | 第44-45页 |
| 4.1.2 晶体管式脉冲电源 | 第45页 |
| 4.2 多线脉冲电源总体方案 | 第45-47页 |
| 4.3 多线脉冲电源功能模块设计 | 第47-56页 |
| 4.3.1 工作电压调节模块 | 第47页 |
| 4.3.2 脉冲信号分配控制模块 | 第47-49页 |
| 4.3.3 主放电回路及其驱动模块 | 第49-51页 |
| 4.3.4 间隙数据采集与处理模块 | 第51-56页 |
| 4.4 本章小结 | 第56-57页 |
| 第五章 电火花多线切割脉冲电源控制系统设计 | 第57-69页 |
| 5.1 电火花多线切割非均衡放电特征 | 第57-59页 |
| 5.1.1 电火花电蚀速度 | 第57页 |
| 5.1.2 极间间隙变换情况分析 | 第57-59页 |
| 5.2 电火花多线切割均衡放电控制策略 | 第59-63页 |
| 5.2.1 均衡放电策略 | 第59-60页 |
| 5.2.2 基于脉冲概率的MIMO模糊控制方法 | 第60-63页 |
| 5.3 FPGA片上控制系统设计 | 第63-66页 |
| 5.3.1 分频模块 | 第64页 |
| 5.3.2 脉冲概率误差及其误差变化率模块 | 第64-65页 |
| 5.3.3 二维模糊控制器算法模块 | 第65-66页 |
| 5.3.4 ROM宏模块 | 第66页 |
| 5.3.5 PWM波生成模块 | 第66页 |
| 5.4 MIMO模糊控制系统仿真验证 | 第66-68页 |
| 5.5 本章小结 | 第68-69页 |
| 第六章 电火花多线切割均衡放电与同步控制试验 | 第69-84页 |
| 6.1 电火花多线切割半导体放电模型 | 第69-73页 |
| 6.1.1 电火线切割半导体放电模型 | 第69-70页 |
| 6.1.2 电火花多线切割模型 | 第70-71页 |
| 6.1.3 模型验证试验 | 第71-73页 |
| 6.2 电火花多线切割放电同步控制技术 | 第73-75页 |
| 6.2.1 多电极同步放电控制 | 第73-75页 |
| 6.2.2 非等脉宽多电极同步放电控制的方法 | 第75页 |
| 6.3 电火花多线切割同步放电控制试验 | 第75-78页 |
| 6.3.1 异步与同步脉冲放电对比试验 | 第75-78页 |
| 6.3.2 电火花多线切割同步均衡放电控制验证试验 | 第78页 |
| 6.4 MIMO模糊控制均衡放电实验验证 | 第78-83页 |
| 6.4.1 试验对比条件 | 第78-79页 |
| 6.4.2 加工粗糙度对比 | 第79-80页 |
| 6.4.3 切缝平直性对比 | 第80-82页 |
| 6.4.4 加工效率对比 | 第82-83页 |
| 6.5 本章小结 | 第83-84页 |
| 第七章 总结与展望 | 第84-86页 |
| 7.1 工作总结 | 第84-85页 |
| 7.2 研究展望 | 第85-86页 |
| 参考文献 | 第86-90页 |
| 致谢 | 第90-91页 |
| 在学期间的研究成果及发表的学术论文 | 第91页 |