| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第一章 绪论 | 第9-17页 |
| 1.1 MEMS&NEMS概述 | 第9-11页 |
| 1.1.1 MEMS简介 | 第9-10页 |
| 1.1.2 NEMS主要特点以及应用 | 第10-11页 |
| 1.2 论文研究背景以及意义 | 第11-12页 |
| 1.3 国内外研究现状 | 第12-15页 |
| 1.4 论文组织结构 | 第15-17页 |
| 第二章 分子动力学与机械梁理论基础 | 第17-27页 |
| 2.1 分子动力学基础 | 第17-24页 |
| 2.1.1 分子动力学基本原理 | 第17-18页 |
| 2.1.2 牛顿运动方程的数值解法 | 第18-20页 |
| 2.1.3 模拟的条件与系综简介 | 第20-22页 |
| 2.1.4 分子动力学模拟过程 | 第22-24页 |
| 2.2 机械梁基础理论 | 第24-26页 |
| 2.3 本章小结 | 第26-27页 |
| 第三章 基于分子动力学模拟的硅纳米线谐振频率的研究 | 第27-42页 |
| 3.1 Material Studio软件简介 | 第27页 |
| 3.2 硅纳米线 | 第27-30页 |
| 3.2.1 硅纳米线制备技术简介 | 第27-28页 |
| 3.2.2 硅纳米线结构 | 第28-29页 |
| 3.2.3 <111>、<110>、<112>方向理想表面的硅纳米线 | 第29-30页 |
| 3.3 谐振频率的计算 | 第30-32页 |
| 3.3.1 分子动力学模拟步骤 | 第30-32页 |
| 3.3.2 FFT变换 | 第32页 |
| 3.4 分子动力学模拟结果与讨论 | 第32-41页 |
| 3.4.1 <111>方向典型截面的硅纳米线 | 第32-33页 |
| 3.4.2 <111>方向各个截面硅纳米线谐振特性的模拟结果与讨论 | 第33-37页 |
| 3.4.3 <110>方向硅纳米线谐振特性模拟结果与讨论 | 第37-39页 |
| 3.4.4 <112>方向硅纳米线谐振特性的模拟结果讨论 | 第39-41页 |
| 3.5 本章小结 | 第41-42页 |
| 第四章 重构的硅纳米线谐振特性研究 | 第42-51页 |
| 4.1 重构的硅纳米线结构 | 第42-43页 |
| 4.2 <100>方向重构的硅纳米线仿真结果与讨论 | 第43-45页 |
| 4.3 <110>方向重构的硅纳米线仿真结果与讨论 | 第45-50页 |
| 4.4 本章小结 | 第50-51页 |
| 第五章 结束语 | 第51-53页 |
| 5.1 总结 | 第51-52页 |
| 5.2 对课题后期工作的展望 | 第52-53页 |
| 致谢 | 第53-54页 |
| 参考文献 | 第54-58页 |
| 作者简介 | 第58页 |
