| 摘要 | 第3-5页 |
| ABSTRACT | 第5-7页 |
| 符号说明 | 第11-15页 |
| 第一章 绪论 | 第15-38页 |
| 1.1 引言 | 第15-17页 |
| 1.2 硅烷流化床法制备多晶硅的工艺 | 第17-21页 |
| 1.2.1 主要工艺 | 第17-18页 |
| 1.2.2 技术挑战 | 第18-19页 |
| 1.2.3 工业应用 | 第19-21页 |
| 1.3 硅烷流化床法制备多晶硅的研究进展 | 第21-27页 |
| 1.3.1 基础研究 | 第21-24页 |
| 1.3.2 实验研究 | 第24-25页 |
| 1.3.3 动力学研究 | 第25-27页 |
| 1.3.4 模拟研究 | 第27页 |
| 1.4 流化床内气-固两相流动的模拟研究 | 第27-36页 |
| 1.4.1 流化床反应器概述 | 第27-30页 |
| 1.4.2 两相现象模型 | 第30-31页 |
| 1.4.3 计算流体力学模型 | 第31-34页 |
| 1.4.4 粒群衡算模型 | 第34-36页 |
| 1.5 论文研究目的和主要内容 | 第36-38页 |
| 1.5.1 研究目的 | 第36页 |
| 1.5.2 研究内容 | 第36-37页 |
| 1.5.3 研究思路 | 第37-38页 |
| 第二章 三维流化床反应器内气-固两相流动的模拟研究 | 第38-76页 |
| 2.1 前言 | 第38页 |
| 2.2 三维流化床反应器几何模型的建立 | 第38-43页 |
| 2.2.1 几何模型与网格划分 | 第38-41页 |
| 2.2.2 网格无关性测试 | 第41-43页 |
| 2.3 欧拉-颗粒流模型的建立 | 第43-48页 |
| 2.3.1 欧拉-欧拉模型 | 第46页 |
| 2.3.2 KTGF颗粒流理论 | 第46-47页 |
| 2.3.3 曳力模型 | 第47页 |
| 2.3.4 RNG k-ε 湍流模型 | 第47-48页 |
| 2.3.5 传热模型 | 第48页 |
| 2.4 实验室级流化体系的流动模拟 | 第48-56页 |
| 2.4.1 模型设置与初始条件 | 第48-49页 |
| 2.4.2 Tejero-Ezpeleta流化体系 | 第49-55页 |
| 2.4.3 Hsu流化体系 | 第55-56页 |
| 2.5 工业级流化体系的流动模拟 | 第56-74页 |
| 2.5.1 补充模型 | 第56-59页 |
| 2.5.2 模型参数分析结果 | 第59-67页 |
| 2.5.3 多分散流化体系的模拟 | 第67-74页 |
| 2.6 本章小结 | 第74-76页 |
| 第三章 流化床内硅烷裂解过程中颗粒增长的模拟研究 | 第76-103页 |
| 3.1 前言 | 第76页 |
| 3.2 CFD-PBM耦合模型的建立 | 第76-80页 |
| 3.2.1 欧拉-颗粒流模型 | 第76-77页 |
| 3.2.2 组分输运模型 | 第77-78页 |
| 3.2.3 PBM模型 | 第78-80页 |
| 3.3 耦合策略与模拟条件 | 第80-81页 |
| 3.4 不同过程对颗粒增长的影响 | 第81-90页 |
| 3.4.1 聚并作用的影响 | 第81-83页 |
| 3.4.2 增长机理的影响 | 第83-85页 |
| 3.4.3 气相组分的分布 | 第85-88页 |
| 3.4.4 操作条件的影响 | 第88-90页 |
| 3.5 不同硅烷裂解动力学模型的应用分析 | 第90-102页 |
| 3.5.1 补充模型 | 第90-92页 |
| 3.5.2 基于Hsu体系的模拟条件 | 第92-94页 |
| 3.5.3 模拟结果与分析 | 第94-102页 |
| 3.6 本章小结 | 第102-103页 |
| 第四章 硅烷均相裂解实验及硅粉尘的热处理研究 | 第103-118页 |
| 4.1 前言 | 第103页 |
| 4.2 实验方法 | 第103-105页 |
| 4.2.1 实验装置 | 第103-104页 |
| 4.2.2 实验流程 | 第104-105页 |
| 4.2.3 表征方法 | 第105页 |
| 4.3 实验结果与讨论 | 第105-116页 |
| 4.3.1 样品粉尘的制备与表征 | 第105-108页 |
| 4.3.2 烧结条件对晶度的影响 | 第108-110页 |
| 4.3.3 烧结条件对Si-H结构的影响 | 第110-113页 |
| 4.3.4 烧结条件对形貌的影响 | 第113-116页 |
| 4.4 本章小结 | 第116-118页 |
| 第五章 全文总结与展望 | 第118-121页 |
| 5.1 全文主要内容与结论 | 第118-119页 |
| 5.2 论文创新点 | 第119-120页 |
| 5.3 工作展望 | 第120-121页 |
| 参考文献 | 第121-135页 |
| 致谢 | 第135-136页 |
| 攻读博士学位期间发表和撰写的论文 | 第136-137页 |
| 攻读博士学位期间参加和投稿的会议 | 第137-139页 |