硅单晶热膨胀性质的分子动力学与晶格动力学模拟
| 摘要 | 第4-6页 |
| Abstract | 第6-8页 |
| 第一章 绪论 | 第12-18页 |
| 1.1 研究背景 | 第12-14页 |
| 1.1.1 微机电系统（MEMS）技术简介 | 第12页 |
| 1.1.2 硅单晶简介 | 第12-13页 |
| 1.1.3 热膨胀性质简介 | 第13-14页 |
| 1.2 硅单晶热膨胀性质研究的现状 | 第14-16页 |
| 1.3 硅单晶热膨胀性质研究的意义 | 第16页 |
| 1.4 本文内容 | 第16-18页 |
| 第二章 分子动力学的模拟方法 | 第18-42页 |
| 2.1 分子动力学简介 | 第18-19页 |
| 2.2 分子动力学的基本原理 | 第19-21页 |
| 2.3 分子动力学模拟介绍 | 第21-34页 |
| 2.3.1 系综的简介 | 第21-25页 |
| 2.3.2 势函数的研究 | 第25-27页 |
| 2.3.3 初始条件和边界条件 | 第27-29页 |
| 2.3.4 分子动力学模拟的算法 | 第29-30页 |
| 2.3.5 分子动力学模拟的热力学量的统计 | 第30-32页 |
| 2.3.6 分子动力学模拟的程序流程 | 第32-34页 |
| 2.4 LAMMPS软件的应用 | 第34-37页 |
| 2.4.1 LAMMPS简介 | 第34-35页 |
| 2.4.2 分子动力学模拟的LAMMPS实现 | 第35-37页 |
| 2.4.3 LAMMPS模拟的后续数据处理 | 第37页 |
| 2.5 硅单晶的分子动力学分析 | 第37-42页 |
| 2.5.1 模型的构建 | 第37-38页 |
| 2.5.2 势能函数的选取 | 第38-39页 |
| 2.5.3 算法和系综的选择 | 第39-40页 |
| 2.5.4 热膨胀系数计算 | 第40-42页 |
| 第三章 晶格动力学基础 | 第42-62页 |
| 3.1 晶格动力学概述 | 第42-48页 |
| 3.2 硅单晶的晶格动力学分析 | 第48-62页 |
| 3.2.1 硅单晶的晶体结构和原子间的相互作用 | 第48-49页 |
| 3.2.2 硅单晶的晶格动力学矩阵 | 第49-55页 |
| 3.2.3 硅单晶的三次非和谐势能 | 第55-62页 |
| 第四章 热膨胀计算的微扰理论 | 第62-68页 |
| 4.1 微扰论的概述 | 第62-64页 |
| 4.1.1 微扰对非简并态的影响 | 第62-63页 |
| 4.1.2 微扰对简并态的影响 | 第63-64页 |
| 4.2 热膨胀计算的微扰理论 | 第64-66页 |
| 4.3 硅单晶热膨胀计算的微扰理论 | 第66-68页 |
| 第五章 数值结果分析 | 第68-74页 |
| 5.1 分子动力学模拟数据分析 | 第68-70页 |
| 5.2 晶格动力学模拟数据分析 | 第70-74页 |
| 第六章 总结与展望 | 第74-76页 |
| 6.1 本文总结 | 第74页 |
| 6.2 进一步研究与展望 | 第74-76页 |
| 参考文献 | 第76-80页 |
| 附录：攻读硕士学位期间论文发表情况 | 第80-81页 |
| 致谢 | 第81页 |
