| 摘要 | 第3-5页 |
| ABSTRACT | 第5-7页 |
| 第一章 绪论 | 第10-20页 |
| 1.1 课题研究的背景 | 第10-11页 |
| 1.2 多晶硅铸锭炉的国内外研究现状 | 第11-16页 |
| 1.2.1 多晶硅铸锭炉的国外研究现状 | 第11-14页 |
| 1.2.2 多晶硅铸锭炉的国内研究现状 | 第14-15页 |
| 1.2.3 多晶硅铸锭炉未来的发展趋势 | 第15-16页 |
| 1.3 选题的目的与意义 | 第16页 |
| 1.4 课题来源 | 第16-17页 |
| 1.5 本文主要研究方法和研究内容 | 第17-20页 |
| 1.5.1 研究方法 | 第17页 |
| 1.5.2 研究内容 | 第17-20页 |
| 第二章 多晶硅铸锭炉热场结构的建模与分析 | 第20-32页 |
| 2.1 多晶硅铸锭炉简介 | 第20-23页 |
| 2.1.1 多晶硅铸锭炉的结构组成和工作原理 | 第20-21页 |
| 2.1.2 硅锭的生产工艺流程 | 第21-23页 |
| 2.2 数学模型 | 第23-29页 |
| 2.2.1 传热学简介 | 第23-26页 |
| 2.2.2 建立数学模型 | 第26-29页 |
| 2.3 传热学主要研究方法 | 第29-31页 |
| 2.4 本章小结 | 第31-32页 |
| 第三章 热场结构的数值模拟与优化 | 第32-46页 |
| 3.1 热场结构的数值分析与试验研究 | 第32-39页 |
| 3.1.1 建模及划分网格 | 第32-34页 |
| 3.1.2 定义材料属性及边界条件 | 第34-36页 |
| 3.1.3 求解及结果分析 | 第36-37页 |
| 3.1.4 试验 | 第37-39页 |
| 3.2 热场结构的优化及数值分析 | 第39-44页 |
| 3.2.1 热场结构优化 | 第39-40页 |
| 3.2.2 数值分析 | 第40-44页 |
| 3.3 本章小结 | 第44-46页 |
| 第四章 加热体的热-电耦合分析 | 第46-52页 |
| 4.1 加热体简介 | 第46页 |
| 4.2 加热体模型 | 第46-48页 |
| 4.3 加热体的热-电耦合计算 | 第48-51页 |
| 4.3.1 ANSYS Workbench 软件简介 | 第48-49页 |
| 4.3.2 热-电耦合计算 | 第49-51页 |
| 4.4 本章小结 | 第51-52页 |
| 第五章 隔热笼结构的优化及热-结构耦合分析 | 第52-60页 |
| 5.1 隔热笼结构优化 | 第52-54页 |
| 5.2 隔热笼的热-结构耦合分析 | 第54-58页 |
| 5.2.1 热-结构耦合计算简介 | 第54-55页 |
| 5.2.2 建模及网格划分 | 第55-56页 |
| 5.2.3 边界条件设置 | 第56页 |
| 5.2.4 稳态传热学计算结果分析 | 第56-57页 |
| 5.2.5 结构计算结果分析 | 第57-58页 |
| 5.3 本章小结 | 第58-60页 |
| 第六章 论文总结与工作展望 | 第60-62页 |
| 6.1 论文总结 | 第60-61页 |
| 6.2 工作展望 | 第61-62页 |
| 参考文献 | 第62-66页 |
| 致谢 | 第66-68页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第68页 |