| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 注释表 | 第11-12页 |
| 第一章 绪论 | 第12-22页 |
| 1.1 引言 | 第12页 |
| 1.2 化学机械抛光概述 | 第12-17页 |
| 1.2.1 化学机械抛光原理 | 第12-13页 |
| 1.2.2 固结磨料化学机械抛光技术 | 第13-15页 |
| 1.2.3 低温抛光技术国内外研究现状 | 第15-17页 |
| 1.3 超细粉体在水相介质中分散的国内外研究现状 | 第17-18页 |
| 1.4 冰粒制备技术国内外研究现状 | 第18-20页 |
| 1.5 本文研究的目的、意义与主要内容 | 第20-22页 |
| 1.5.1 本文研究的目的与意义 | 第20页 |
| 1.5.2 本文研究的主要内容 | 第20-22页 |
| 第二章 α-Al_2O_3粉体在水相介质中的分散工艺研究 | 第22-40页 |
| 2.1 引言 | 第22页 |
| 2.2 微细颗粒在液相介质中的分散原理及方法 | 第22-24页 |
| 2.2.1 微细颗粒在液相介质中的分散原理 | 第22-24页 |
| 2.2.2 几种常用分散方法 | 第24页 |
| 2.3 机械化学复合法研究 α-Al_2O_3在水相介质中的分散性能 | 第24-39页 |
| 2.3.1 实验材料与仪器 | 第24-25页 |
| 2.3.2 实验设计 | 第25-27页 |
| 2.3.3 实验结果与分析 | 第27-39页 |
| 2.4 本章小结 | 第39-40页 |
| 第三章 冰粒的特性及成型机理 | 第40-52页 |
| 3.1 引言 | 第40页 |
| 3.2 冰粒的物理属性及力学性能 | 第40-43页 |
| 3.2.1 水的相图 | 第40-41页 |
| 3.2.2 冰粒的密度 | 第41页 |
| 3.2.3 冰粒的导热系数和热扩散系数 | 第41-42页 |
| 3.2.4 冰粒的硬度 | 第42-43页 |
| 3.2.5 冰粒的粘结 | 第43页 |
| 3.3 冰粒成形机理 | 第43-48页 |
| 3.3.1 水滴冻结生成冰粒过程 | 第43-45页 |
| 3.3.2 液滴成核过程 | 第45-48页 |
| 3.4 冰粒制备过程的温度场仿真 | 第48-51页 |
| 3.4.1 换热器的设计 | 第48-49页 |
| 3.4.2 换热器内部网格划分 | 第49页 |
| 3.4.3 边界条件的设置 | 第49-50页 |
| 3.4.4 计算结果与分析 | 第50-51页 |
| 3.5 本章小结 | 第51-52页 |
| 第四章 冰粒型固结磨料抛光垫的制备及其研抛性能研究 | 第52-70页 |
| 4.1 引言 | 第52页 |
| 4.2 冰粒型固结磨料抛光垫的制备 | 第52-58页 |
| 4.2.1 冰粒的制备 | 第52-56页 |
| 4.2.2 冰粒型固结磨料抛光垫的制备 | 第56-58页 |
| 4.3 冰粒型固结磨料抛光垫中磨料分布均匀性实验 | 第58-61页 |
| 4.3.1 实验目的、仪器与材料 | 第58-59页 |
| 4.3.2 实验过程 | 第59页 |
| 4.3.3 实验结果与分析 | 第59-61页 |
| 4.4 冰粒型固结磨料抛光垫研抛性能实验 | 第61-69页 |
| 4.4.1 实验仪器与材料 | 第61-62页 |
| 4.4.2 锗片的表面预处理 | 第62-63页 |
| 4.4.3 锗片的粘结 | 第63-64页 |
| 4.4.4 冰冻固结磨料抛光垫的制备 | 第64-65页 |
| 4.4.5 对比实验设计 | 第65-66页 |
| 4.4.6 实验结果与分析 | 第66-69页 |
| 4.5 本章小结 | 第69-70页 |
| 第五章 总结与展望 | 第70-72页 |
| 5.1 总结 | 第70-71页 |
| 5.2 展望 | 第71-72页 |
| 参考文献 | 第72-77页 |
| 致谢 | 第77-78页 |
| 在校期间的研究成果及发表的学术论文 | 第78页 |
