| 摘要 | 第4-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 第1章 绪论 | 第14-28页 |
| 1.1 课题背景及研究的目的和意义 | 第14-15页 |
| 1.2 国内外研究发展现状 | 第15-26页 |
| 1.2.1 扫描光刻系统及其控制方式 | 第15-19页 |
| 1.2.2 扫描光刻控制方法研究现状 | 第19-21页 |
| 1.2.3 滑模变结构控制及其在精密伺服控制领域的应用 | 第21-26页 |
| 1.3 本文的主要研究内容 | 第26-28页 |
| 第2章 工件台鲁棒滑模控制 | 第28-50页 |
| 2.1 引言 | 第28-29页 |
| 2.2 工件台传统宏微解耦控制方式 | 第29-33页 |
| 2.2.1 工件台宏动部分解耦控制 | 第29-31页 |
| 2.2.2 工件台微动部分解耦控制 | 第31-33页 |
| 2.2.3 工件台宏微控制策略 | 第33页 |
| 2.3 扫描运动轨迹及控制性能指标 | 第33-37页 |
| 2.4 工件台鲁棒滑模控制 | 第37-41页 |
| 2.4.1 工件台宏动/微动SISO解耦模型 | 第37页 |
| 2.4.2 基于工件台解耦模型的鲁棒滑模控制 | 第37-41页 |
| 2.5 试验研究 | 第41-48页 |
| 2.5.1 试验系统介绍 | 第41-44页 |
| 2.5.2 试验结果及分析 | 第44-48页 |
| 2.6 本章小结 | 第48-50页 |
| 第3章 基于无模型自适应外环补偿的改进型工件台鲁棒滑模控制 | 第50-65页 |
| 3.1 引言 | 第50-51页 |
| 3.2 工件台无模型自适应外环补偿控制 | 第51-58页 |
| 3.2.1 动态线性化 | 第51-53页 |
| 3.2.2 无模型自适应外环补偿控制 | 第53-55页 |
| 3.2.3 稳定性分析 | 第55-58页 |
| 3.3 试验研究 | 第58-64页 |
| 3.4 本章小结 | 第64-65页 |
| 第4章 基于改进型混合自适应前馈的增强型工件台鲁棒滑模控制 | 第65-81页 |
| 4.1 引言 | 第65-66页 |
| 4.2 工件台宏动部分自适应前馈控制 | 第66-71页 |
| 4.2.1 基本型自适应逆模型前馈 | 第66-69页 |
| 4.2.2 带有推力波动补偿的改进型混合自适应前馈 | 第69-71页 |
| 4.3 试验研究 | 第71-80页 |
| 4.4 本章小结 | 第80-81页 |
| 第5章 工件台宏动部分MIMO模糊滑模控制 | 第81-97页 |
| 5.1 引言 | 第81-82页 |
| 5.2 工件台宏动部分三自由度拉格朗日耦合建模 | 第82-84页 |
| 5.3 基于滑模状态观测器的工件台宏动MIMO模糊滑模控制 | 第84-90页 |
| 5.3.1 工件台宏动部分MIMO模糊滑模控制 | 第85-89页 |
| 5.3.2 基于滑模状态观测器的MIMO模糊滑模控制 | 第89-90页 |
| 5.4 仿真研究 | 第90-96页 |
| 5.5 本章小结 | 第96-97页 |
| 第6章 工件台微动部分MIMO鲁棒模糊神经网络滑模控制 | 第97-115页 |
| 6.1 引言 | 第97-98页 |
| 6.2 工件台微动部分六自由度耦合建模 | 第98-102页 |
| 6.2.1 推力耦合建模 | 第98-99页 |
| 6.2.2 运动耦合建模 | 第99-102页 |
| 6.2.3 六自由度耦合模型 | 第102页 |
| 6.3 工件台微动部分MIMO鲁棒模糊神经网络滑模控制 | 第102-108页 |
| 6.3.1 基本型MIMO鲁棒神经网络滑模控制 | 第102-105页 |
| 6.3.2 改进型MIMO鲁棒模糊神经网络滑模控制 | 第105-108页 |
| 6.4 仿真研究 | 第108-114页 |
| 6.5 本章小结 | 第114-115页 |
| 结论 | 第115-118页 |
| 参考文献 | 第118-130页 |
| 攻读博士学位期间发表的论文及其它成果 | 第130-133页 |
| 致谢 | 第133-134页 |
| 个人简历 | 第134页 |
