| 摘要 | 第5-7页 |
| Abstract | 第7-9页 |
| 第1章 绪论 | 第13-31页 |
| 1.1 透明导电氧化物薄膜的发展与现状 | 第13-14页 |
| 1.2 ZnO的基本性质 | 第14-16页 |
| 1.2.1 ZnO的晶体结构 | 第14页 |
| 1.2.2 ZnO的光学特性 | 第14-15页 |
| 1.2.3 ZnO的电学特性 | 第15-16页 |
| 1.3 Zn_xMg_(1-x)O的发展现状与基本性质 | 第16-17页 |
| 1.4 Zn_xMg_(1-x)O的制备方法 | 第17-29页 |
| 1.4.1 物理气相沉积 | 第17-19页 |
| 1.4.2 化学气相沉积 | 第19-20页 |
| 1.4.3 脉冲激光沉积 | 第20-21页 |
| 1.4.4 溶胶凝胶法 | 第21-23页 |
| 1.4.5 水热法 | 第23-29页 |
| 1.5 本文的研究内容 | 第29-31页 |
| 第2章 Zn_xMg_(1-x)O溶胶凝胶薄膜光电特性研究 | 第31-57页 |
| 2.1 实验仪器与步骤 | 第31-33页 |
| 2.1.1 测试与表征的仪器与设备 | 第31-32页 |
| 2.1.2 测试与表征手段 | 第32页 |
| 2.1.3 Zn_xMg_(1-x)O薄膜的制备 | 第32-33页 |
| 2.2 退火温度对Zn_(0.5)Mg_(0.5)O薄膜特性的影响 | 第33-42页 |
| 2.2.1 结构特性分析 | 第34-36页 |
| 2.2.2 表面形貌分析 | 第36-39页 |
| 2.2.3 光学特性分析 | 第39-42页 |
| 2.3 退火温度对Zn_(0.4)Mg_(0.6)O薄膜特性的影响 | 第42-46页 |
| 2.3.1 结构特性分析 | 第42-44页 |
| 2.3.2 光学特性分析 | 第44-46页 |
| 2.4 退火温度对Zn_(0.6)Mg_(0.4)O薄膜特性的影响 | 第46-50页 |
| 2.4.1 结构特性分析 | 第46-47页 |
| 2.4.2 光学特性分析 | 第47-50页 |
| 2.5 Zn/Mg比例对Zn_xMg_(1-x)O薄膜特性的影响 | 第50-53页 |
| 2.5.1 结构特性分析 | 第50-52页 |
| 2.5.2 光学特性分析 | 第52-53页 |
| 2.6 退火温度对Zn_(0.5)Mg_(0.5)O薄膜电学特性的影响 | 第53-56页 |
| 2.7 本章小结 | 第56-57页 |
| 第3章 Zn_(0.5)Mg_(0.5)O水热薄膜光电特性研究 | 第57-85页 |
| 3.1 Zn_(0.5)Mg_(0.5)O薄膜的制备 | 第57-58页 |
| 3.2 pH值对Zn_(0.5)Mg_(0.5)O薄膜特性的影响 | 第58-67页 |
| 3.2.1 结构特性分析 | 第59-60页 |
| 3.2.2 表面形貌分析 | 第60-62页 |
| 3.2.3 光学特性分析 | 第62-64页 |
| 3.2.4 电学特性分析 | 第64-67页 |
| 3.3 水热温度对Zn_(0.5)Mg_(0.5)O薄膜特性的影响 | 第67-73页 |
| 3.3.1 结构特性分析 | 第67-68页 |
| 3.3.2 光学特性分析 | 第68-71页 |
| 3.3.3 电学特性分析 | 第71-73页 |
| 3.4 焙烧温度对Zn_(0.5)Mg_(0.5)O薄膜特性的影响 | 第73-83页 |
| 3.4.1 结构特性分析 | 第73-75页 |
| 3.4.2 表面形貌分析 | 第75-78页 |
| 3.4.3 光学特性分析 | 第78-80页 |
| 3.4.4 电学特性分析 | 第80-83页 |
| 3.5 本章小结 | 第83-85页 |
| 第4章 Zn_xMg_(1-x)O薄膜的第一性原理计算 | 第85-103页 |
| 4.1 引言 | 第85-86页 |
| 4.2 ZnO的CASTEP模拟计算 | 第86-89页 |
| 4.3 MgO的CASTEP模拟计算 | 第89-91页 |
| 4.4 Zn_(0.5)Mg_(0.5)O薄膜的CASTEP模拟计算 | 第91-93页 |
| 4.5 Zn_(0.4)Mg_(0.6)O薄膜的CASTEP模拟计算 | 第93-95页 |
| 4.6 Zn_(0.6)Mg_(0.4)O薄膜的CASTEP模拟计算 | 第95-97页 |
| 4.7 六方相结构Zn_(0.5)Mg_(0.5)O薄膜的CASTEP模拟计算 | 第97-100页 |
| 4.8 六方相结构Zn_(0.5)Mg_(0.5)O薄膜的CASTEP模拟计算 | 第100-102页 |
| 4.9 本章小结 | 第102-103页 |
| 第5章 结论与展望 | 第103-105页 |
| 5.1 结论 | 第103-104页 |
| 5.2 展望 | 第104-105页 |
| 参考文献 | 第105-113页 |
| 致谢 | 第113-114页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第114页 |
