| 摘要 | 第4-5页 |
| ABSTRACT | 第5页 |
| 1 绪论 | 第9-21页 |
| 1.1 课题来源 | 第9页 |
| 1.2 研究背景及意义 | 第9-10页 |
| 1.3 国内外主要研究现状 | 第10-19页 |
| 1.3.1 超精密工作台国内外研究现状及分析 | 第11-14页 |
| 1.3.2 计算流体力学与有限体积法概述 | 第14-15页 |
| 1.3.3 虚拟样机技术概述 | 第15-17页 |
| 1.3.4 计算辅助优化概述 | 第17-19页 |
| 1.4 本文主要研究内容 | 第19-21页 |
| 2 精密气浮工作台气浮轴承静承载特性仿真 | 第21-33页 |
| 2.1 引言 | 第21页 |
| 2.2 气浮轴承的工作原理与模型研究 | 第21-24页 |
| 2.3 气浮轴承三维模型建立与结构性网格划分 | 第24-28页 |
| 2.4 仿真计算与数据后处理 | 第28-32页 |
| 2.4.1 求解设置与边界条件确定 | 第28-30页 |
| 2.4.2 仿真计算与结果分析 | 第30-31页 |
| 2.4.3 承载力曲线数据库的生成 | 第31-32页 |
| 2.5 本章小节 | 第32-33页 |
| 3 精密气浮工作台多体动力学建模与动态特性分析 | 第33-46页 |
| 3.1 引言 | 第33页 |
| 3.2 精密气浮工作台系统结构 | 第33-36页 |
| 3.3 精密气浮工作台虚拟样机模型建立 | 第36-42页 |
| 3.3.1 柔性支撑块柔性体的生成 | 第37-39页 |
| 3.3.2 气浮数据导入与轴承分布方案设计 | 第39-41页 |
| 3.3.3 精密气浮工作台ADAMS整机动力学模型 | 第41-42页 |
| 3.4 精密气浮工作台虚拟样机系统动态特性分析 | 第42-45页 |
| 3.4.1 固有特性分析 | 第42-43页 |
| 3.4.2 工作台动力学特性分析 | 第43-45页 |
| 3.5 本章小节 | 第45-46页 |
| 4 精密气浮工作台多体动力学动态特性优化 | 第46-55页 |
| 4.1 引言 | 第46页 |
| 4.2 精密气浮工作台优化设计流程的确定 | 第46-47页 |
| 4.3 工作台ISIGHT优化模型的建立 | 第47-51页 |
| 4.3.1 设计变量与ADAMS模块的建立 | 第47-49页 |
| 4.3.2 优化目标与MATLAB模块建立 | 第49-50页 |
| 4.3.3 Isight优化模型的建立 | 第50-51页 |
| 4.4 优化过程与结果分析 | 第51-54页 |
| 4.5 本章小节 | 第54-55页 |
| 5 总结与展望 | 第55-57页 |
| 5.1 全文总结 | 第55页 |
| 5.2 研究展望 | 第55-57页 |
| 致谢 | 第57-58页 |
| 参考文献 | 第58-62页 |
| 附录 1 攻读硕士学位期间发表的学术论文目录 | 第62页 |