| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 第1章 绪论 | 第9-15页 |
| 1.1 课题的来源 | 第9页 |
| 1.2 课题的背景和意义 | 第9-10页 |
| 1.3 光机热集成分析研究现状及其应用 | 第10-14页 |
| 1.4 本文主要研究内容 | 第14-15页 |
| 第2章 基于ModelCenter的镜片光机热集成分析方案 | 第15-24页 |
| 2.1 引言 | 第15页 |
| 2.2 投影物镜光学镜片光机热之间耦合关系 | 第15-18页 |
| 2.3 投影物镜光学镜片光机热集成分析结果评价方法 | 第18-20页 |
| 2.4 投影物镜光学镜片光机热集成方案的提出 | 第20-23页 |
| 2.5 本章小结 | 第23-24页 |
| 第3章 镜片光机热分析过程的参数化 | 第24-37页 |
| 3.1 引言 | 第24页 |
| 3.2 镜片机械结构分析过程的参数化 | 第24-30页 |
| 3.3 镜片热分析过程的参数化 | 第30-34页 |
| 3.4 镜片光学分析过程的参数化 | 第34-36页 |
| 3.5 本章小结 | 第36-37页 |
| 第4章 基于ModelCenter的镜片光机热集成分析方法和辅助软件实现 | 第37-57页 |
| 4.1 引言 | 第37页 |
| 4.2 ModelCenter平台下参数化集成流程的实现 | 第37-42页 |
| 4.3 辅助软件功能介绍 | 第42页 |
| 4.4 辅助软件各模块介绍 | 第42-47页 |
| 4.5 实例操作 | 第47-56页 |
| 4.6 本章小结 | 第56-57页 |
| 第5章 总结与展望 | 第57-59页 |
| 5.1 全文总结 | 第57页 |
| 5.2 研究展望 | 第57-59页 |
| 致谢 | 第59-60页 |
| 参考文献 | 第60-62页 |
